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最新专利技术
  • 光学临近修正方法、装置、电子设备及存储介质
    光学临近修正方法、装置、电子设备及存储介质_广州增芯科技有限公司_202610114332.5
    本申请提供一种光学临近修正方法、装置、电子设备及存储介质，涉及半导体技术领域。该方法包括：获取通孔层的设计版图以及针对多个预设图形预先进行光刻后得到的多个偏差值，设计版图包括多个初始通孔图形，偏差值为预设图形和对应光刻图形之间的偏差值；根据...
    2026-05-05
  • 金属层图形预处理方法、修正目标图形及刻蚀方法
    金属层图形预处理方法、修正目标图形及刻蚀方法_合肥晶合集成电路股份有限公司_202610399687.3
    本发明提供一种金属层图形预处理方法、修正目标图形及刻蚀方法，其中金属层图形预处理方法是在添加亚分辨率辅助特征之后、光学邻近校正之前，增加以下步骤：选取原始目标图形中会形成热点区域的转角；将转角替换为斜线；将斜线阶梯化，得到优化后的目标图形，...
    2026-05-05
  • 两级矫正装置
    两级矫正装置_中国科学院光电技术研究所_202610324121.4
    本公开提供了一种两级矫正装置，可应用于掩模形变矫正技术领域。该装置包括：第一活动组件，第一活动组件的一端能够沿第一方向移动；第二活动组件，第二活动组件包括热隔离层和放大组件，放大组件通过热隔离层设于第一活动组件上，夹持组件，夹持组件包括弹性...
    2026-05-05
  • 一种曝光机光罩手动清洁装置
    一种曝光机光罩手动清洁装置_福建华佳彩有限公司_202610143162.3
    本发明公开了一种曝光机光罩手动清洁装置，涉及光罩清洁技术领域，旨在解决现有手动清洁方式中人员难以精准控制静电除尘枪与光罩距离、新人培训周期长、光罩易划伤及清洁效率低的问题。该装置包括静电除尘枪主体，所述静电除尘枪主体的前端设有红外或超声波式...
    2026-05-05
  • 一种间巯基苯甲酸配位的锡氧簇光刻胶及其应用
    一种间巯基苯甲酸配位的锡氧簇光刻胶及其应用_大连理工大学_202610036032.X
    一种间巯基苯甲酸配位的锡氧簇光刻胶及其应用，本发明属于光刻材料技术领域。该光刻胶以间巯基苯甲酸配位的锡氧簇化合物为活性组分，与酯、酮、醇或烷烃类有机溶剂配制成光刻胶组合物，并可按需加入流平剂、光引发剂或光酸等辅助组分。该类团簇具有优异的热稳...
    2026-05-05
  • 一种线路油墨的光敏组合物及其制备方法
    一种线路油墨的光敏组合物及其制备方法_广东炎墨方案科技股份有限公司_202610287874.2
    本发明提供了一种线路油墨的光敏组合物及其制备方法。本发明在采用小粒径填料以保障图像分辨率和图形侧边清晰度的基础上，引入了高玻璃化转变温度的碱溶性树脂：该类树脂因玻璃化转变温度较高，在预烘并恢复至室温后，膜面可形成稳定的玻璃态，既具备足够的机...
    2026-05-05
  • 树脂组合物及其层、滤色器及其应用
    树脂组合物及其层、滤色器及其应用_珠海基石科技有限公司_202610404964.5
    本公开涉及一种树脂组合物及其层、滤色器及其应用，所述树脂组合物包含着色剂，所述着色剂包含蓝色颜料与萘嵌间二氮杂苯类色素化合物，所述萘嵌间二氮杂苯类色素化合物在500 nm至600 nm处具有最大吸收值并且是具有以下通式(1)的化合物。所述树...
    2026-05-05
  • 光阻膜厚的控制方法、控制装置及涂布设备
    光阻膜厚的控制方法、控制装置及涂布设备_深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司_202411514401.9
    本申请提供一种光阻膜厚的控制方法、控制装置及涂布设备。该方法应用于涂布设备的控制系统。其包括：检测待使用的第一批次光阻材料的余量；响应于所述第一批次光阻材料的余量满足预设的更换条件，指示所述涂布设备执行膜厚检测，得到第二批次光阻材料涂布的膜...
    2026-05-05
  • 一种用于光掩模镀膜的低温强化方法及系统
    一种用于光掩模镀膜的低温强化方法及系统_绍兴芯链半导体科技有限公司_202610130047.2
    本发明涉及一种用于光掩模镀膜的低温强化方法及系统，包括以下步骤 : 提供沉积有薄膜的基板，或者在低温下，通过PVD沉积工艺在基板上沉积薄膜；以及将沉积有薄膜的基板置于纳米流体中，并采用激光对薄膜表面进行激光扫描，获得光掩模半成品，以协同释放...
    2026-05-05
  • 一种等离子体光刻成像方法、装置、设备及介质
    一种等离子体光刻成像方法、装置、设备及介质_中国科学院微电子研究所_202411502209.8
    本申请提供一种等离子体光刻成像方法、装置、设备及介质，包括：获取等离子体光刻成像的成像结构的轴向方向以及成像结构包括的呈二维周期性变化的多个掩模图形的边的延伸方向。光线以和轴向方向呈预设的离轴角度以及和掩模图形每个边的延长方向呈预设的方位角...
    2026-05-05
  • 一种电子束曝光机的基片夹持机构及夹持控制方法
    一种电子束曝光机的基片夹持机构及夹持控制方法_中国电子科技集团公司第四十八研究所_202411513069.4
    本发明公开了一种电子束曝光机的基片夹持机构及夹持控制方法，将第一杠杆组件、第二杠杆组件和夹紧导向组件均设置在安装底板上；布置在安装顶板上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和第三夹紧组件具有相同的结构设置，且均包括顶杆部件；第一夹紧组件的顶杆部件贯...
    2026-05-05
  • 光学临近修正模型的生成方法、装置、修正方法、介质及设备
    光学临近修正模型的生成方法、装置、修正方法、介质及设备_中芯国际集成电路制造(上海)有限公司_202411519762.2
    本申请公开了光学临近修正模型的生成方法、装置、修正方法、介质及设备，获取样本光源信息、多个掩膜版测试图案各自对应的预设图案参数和实测关键尺寸；以样本光源信息、多个预设图案参数和多个实测关键尺寸作为初始修正模型的输入，以光阻影像阈值分布对应的...
    2026-05-05
  • 光源装置、曝光装置和物品的制造方法
    光源装置、曝光装置和物品的制造方法_佳能株式会社_202511500227.7
    本发明涉及光源装置、曝光装置和物品的制造方法。一种光源装置，在将原版的图案的像投影到基板的曝光装置中使用，其中，所述光源装置具有射出第1波长的光的第1LED组、射出与所述第1波长不同的第2波长的光的第2LED组以及对来自所述第1LED组的光...
    2026-05-05
  • 一种制冷探测器芯片的光刻方法
    一种制冷探测器芯片的光刻方法_安徽晶芯科技有限公司_202610052883.3
    本发明公开了一种制冷探测器芯片的光刻方法，属于芯片制造技术领域。本发明的光刻方法中，基础光刻胶中加入了巯基封端的低聚物，巯基封端的低聚物的巯基能与环境中微量的水分子或CO2发生微反应，因而具有一定的可迁移性；当光刻胶层因曝光不均、颗粒污染等...
    2026-05-05
  • 一种波长特异性调控器件及其制备方法和使用该器件的激光直写光刻系统
    一种波长特异性调控器件及其制备方法和使用该器件的激光直写光刻系统_杭州玉之泉精密仪器有限公司_202610053509.5
    本发明公开了一种用于激光直写光刻的波长特异性调控器件，包括微调制结构和光纤，微调制结构为矩形方块，在光纤端面位置为遮挡住纤芯的一半区域，微调制结构厚度满足产生的光程差，在激发光波长处产生2π相位差，在抑制光波长处产生π相位差。其制备方法为将...
    2026-05-05
  • 基于实验法求解邻近效应修正中的最佳Eta的方法及系统
    基于实验法求解邻近效应修正中的最佳Eta的方法及系统_上海哥瑞利软件股份有限公司_202610124997.4
    本发明提供一种基于实验法求解邻近效应修正中的最佳Eta的方法及系统，该方法包括：步骤1，设计测试版图，每个区域包含多组实验条件组合：m组不同曝光剂量BaseDose、n组不同Eta、k种不同密度结构类型；步骤2，设置多组实验条件，采集关键尺...
    2026-05-05
  • 一种柔性印版液体洗版设备及应用于该设备的方法
    一种柔性印版液体洗版设备及应用于该设备的方法_广州荣冠达智能制造有限公司_202511977107.6
    本申请涉及智能制造装备产业领域，尤其涉及一种柔性印版液体洗版设备及应用于该设备的方法，其包括一种柔性印版液体洗版设备，该设备包含箱体、箱盖、刷洗组件、置膜组件、供液组件和排液组件，刷洗组件可往返运动刷洗柔性印版上的黑膜和树脂，供液组件输送洗...
    2026-05-05
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202511516817.9
    本公开涉及图像形成装置。图像形成装置包括：内部负载，所述内部负载被提供在所述图像形成装置内；连接单元，外部负载可连接到所述连接单元；以及计算单元，所述计算单元被配置为计算所述内部负载的电力消耗值。所述计算单元根据所述外部负载的电力供给状态将...
    2026-05-05
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202511516852.0
    本公开涉及一种图像形成装置。所述图像形成装置包括：设置在所述图像形成装置内部的内部负载，外部负载可连接到的连接单元，被配置为向所述内部负载和外部负载供给功率的电源，以及计算单元，所述计算单元被配置为计算所述内部负载的功耗值，并获取连接到所述...
    2026-05-05
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202511548404.9
    本公开涉及图像形成装置。一种图像形成装置包括板、识别单元以及计算单元。识别单元识别板的类型。计算单元从与多种不同类型的板对应地存储多条功耗信息的存储单元获取与由识别单元识别的板的类型对应的功耗信息，并基于所获取的功耗信息计算图像形成装置的能...
    2026-05-05
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