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一种磁电自旋晶体管及其制造方法、电子设备
本发明公开一种磁电自旋晶体管及其制造方法、电子设备,涉及自旋晶体管技术领域,用于通过源极向注入部注入电荷电流,并通过自旋霍尔效应实现自旋注入,在注入部上无须设置铁磁体,利于实现器件的缩放和实际应用。磁电自旋晶体管包括磁电散射层、以及设置在磁...
二维可扩展锗空穴量子比特阵列器件及其制备方法
本发明提供一种二维可扩展锗空穴量子比特阵列器件及其制备方法。器件包括:锗硅异质结基片,包括自下而上的锗量子阱层、硅锗势垒层和硅盖层;多个源漏欧姆接触区,贯穿硅盖层和硅锗势垒层并与锗量子阱层形成欧姆接触;多层栅介质层,设于硅盖层上表面;量子点...
一种百比特级量子计算芯片栅极制备方法及量子计算芯片
本发明公开了一种百比特级量子计算芯片栅极制备方法及量子计算芯片,百比特级量子计算芯片栅极制备方法步骤包括:在扫描隧道显微镜氢掩膜采用激光直写技术加工的衬底上加工制备对准标记;在衬底上加工量子器件核心结构;在衬底上二次加工顶电极套刻标记,得到...
一种钻石型沟槽和半导体器件的制备方法
本发明公开了一种钻石型沟槽和半导体器件的制备方法,所述钻石型沟槽的制备方法包括以下步骤:步骤S1、提供一衬底,所述衬底上设置有栅极结构,所述栅极结构两侧的所述衬底内待形成钻石型沟槽的区域定义为目标区域;步骤S2、在所述衬底上沉积一层硬掩模层...
一种改善超重掺B衬底双层低阻硅外延片过渡区宽度的外延方法及其外延片
本发明提供一种改善超重掺B衬底双层低阻硅外延片过渡区宽度的外延方法及经该外延方法得到的外延片,方法主要包括在掺B衬底上依次设置P型外延内层、N型缓冲层、以及P型外延外层的步骤。本发明的优点在于,相较于现有直接外延工艺,通过优化外延结构与工艺...
超结集成方法及超结集成芯片
本申请公开了超结集成方法及超结集成芯片,属于超结半导体技术领域,所述方法包括,构建衬底层;衬底层上成型集成超结结构,其中,所述集成超结结构限定有外延层以及外延层内P柱与N柱交替,所述集成超结结构内具有至少一隔离结构,所述隔离结构限定有P梁,...
一种具有过压短路击穿结构的GCT芯片
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种具有过压短路击穿结构的GCT芯片,包括P+透明发射阳极区、N′缓冲层、N‑基区、P基区、P+基区、N+发射区;芯片中心处设置有过压短路击穿区,且过压短路击穿区在N‑基区与阳极之间,过压短路击穿区包括N+...
一种非对称GCT芯片
本发明属于功率半导体领域,具体涉及一种非对称GCT芯片,包括从下至上依次层叠设置的P+透明发射阳极、N‑基区、P基区和P+基区以及部分嵌入P+基区内的N+发射区;或者P+透明发射阳极区与N‑基区之间设有N′缓冲层;N+发射区的中心设有凹槽,...
一种TVS器件及其制备方法
本发明公开了一种TVS器件及其制备方法,其中,TVS器件包括:衬底;多个管芯和多个划片道,管芯和划片道在衬底的一侧间隔设置;划片道设置有第一凹槽,第一凹槽延伸至衬底内,第一凹槽的侧壁设置有绝缘隔离层;划片道将相邻的管芯绝缘隔离;第一电极,第...
SiC基AlN外延层结构及垂直型功率器件
本发明涉及一种SiC基AlN外延层结构及垂直型功率器件,所述SiC基AlN外延层结构包括自下而上层叠设置的SiC衬底、成核层和N‑AlN漂移区;根据实际材料需求,所述成核层和N‑AlN漂移区之间可设置缓冲层;所述N‑AlN漂移区上还可设置P...
半导体器件及其形成方法
本发明实施例公开了一种半导体器件及其形成方法。本发明实施例中的半导体器件包括半导体衬底、掺杂区、深终端结构和至少一个源极区和漏极区。其中,掺杂区形成于半导体衬底之上,掺杂区包括深终端沟槽,深终端沟槽从掺杂区的上表面延伸至掺杂区内,深终端结构...
基于SOI的锗硅异质结双极晶体管集电区结构及加工方法
本发明公开了一种基于SOI的锗硅异质结双极晶体管集电区结构及加工方法,该结构包括:绝缘体上硅基础结构;覆盖氧化硅层;刻蚀沟槽,穿过覆盖氧化硅层、绝缘体上硅基础结构并延伸进入p型轻掺杂硅衬底内;氧化硅内侧墙,形成在刻蚀沟槽的侧壁并延伸至所述p...
半导体结构及其制造方法、半导体器件及其制造方法、电子设备
本公开实施例公开了一种半导体结构及其制造方法、半导体器件及其制造方法、电子设备。该半导体结构包括:交替堆叠的若干第一半导体层和第二半导体层;第一半导体层包括第一子层以及第二子层;第一子层位于第二子层沿第一方向相对的两侧,第一方向平行于第一半...
HEMT外延片及其制备方法、HEMT
本发明涉及场效应晶体管技术领域,具体公开了一种HEMT外延片及其制备方法、HEMT。其中,HEMT外延片包括硅衬底,依次层叠于所述硅衬底上的复合缓冲层、沟道层、插入层、势垒层和盖帽层;其中,所述复合缓冲层包括依次层叠于所述硅衬底上的SiO2...
应变缓释型Ge/Si/SiGe异质结构及其生长方法
本发明公开了应变缓释型Ge/Si/SiGe异质结构,自下而上依次为Ge衬底,Si缓冲层,SiGe外延层;Si缓冲层的厚度为5‑12nm;SiGe外延层的厚度为180‑200nm。本发明还公开了应变缓释型Ge/Si/SiGe异质结构的生长方法...
LDMOS器件及其制造方法
本发明涉及一种LDMOS器件及其制造方法,所述LDMOS器件包括:源极区;漏极区;栅极;漂移区,至少部分位于所述源极区和漏极区之间;场氧层,位于所述漂移区上;低K介质层,位于所述栅极上和所述场氧层上,所述低K介质层的介电常数小于所述场氧层的...
碳化硅栅极氧化层及其制备方法、半导体器件
本申请涉及碳化硅栅极氧化层及其制备方法、半导体器件。碳化硅栅极氧化层的制备方法包括以下步骤:将碳化硅外延片在含氮气氛下进行氧化处理,在所述碳化硅外延片的表面制备栅极氧化膜,形成第一结构;对所述第一结构进行偏压温度应力处理,制备第二结构;对所...
半导体器件及其制作方法、芯片
本发明提供一种半导体器件及其制作方法、芯片,涉及半导体技术领域,用于解决在采用后金属栅工艺制作半导体器件时,出现半导体器件低电阻的优势无法体现的问题。所述半导体器件的制作方法包括:在衬底基板上制作异质结膜层;在异质结膜层背向衬底基板的一侧制...
晶体管、半导体器件及其制造方法、电子设备
一种晶体管、半导体器件及其制造方法、电子设备,所述晶体管包括:第一电极、第二电极、位于所述第一电极与所述第二电极之间并且依次排列的半导体层、栅极绝缘层和栅电极;所述第一电极和所述第二电极沿第一方向分布在所述半导体层的两侧,所述栅电极沿第二方...
一种功率半导体器件及其制备方法
本申请公开了一种功率半导体器件及其制备方法,功率半导体器件包括基底,基底包括衬底以及位于衬底上的外延层;若干第一元胞和第二元胞,第一元胞和第二元胞在第一方向并行排布;第二元胞包括:连通沟槽,从外延层的表面穿至外延层内部,连通沟槽包括第二沟槽...
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