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一种补偿静电卡盘直流自偏压的装置和系统
本发明公开了一种补偿静电卡盘直流自偏压的装置和系统,本发明涉及半导体加工技术领域,包括射频阻抗匹配器、数值转换单元和模数转换电路,射频阻抗匹配器用于提供与工艺条件相关的中间参数,本发明的优点在于:通过获取中间参数、计算直流自偏压近似值、反馈...
电场偏转器及其制备方法、电场偏转控制系统
本申请公开了一种电场偏转器及其制备方法、电场偏转控制系统,涉及半导体领域,用于实现电子束的高精度控制;电场偏转器包括:衬底和在衬底一侧设置的介质层、位于介质层中的与地电极连接的第一信号互联引线和与信号电极连接的第二信号互联引线、相对设置的第...
离子注入装置及离子注入方法
本公开涉及一种离子注入装置及离子注入方法。该离子注入装置包括离子源和吸极结构。离子源具有狭缝;所述狭缝用于发射出离子束。吸极结构设置于离子源出射离子束的一侧并在设置位置固定。吸极结构包括:离子束入射口和离子束出射口、吸引电极、电磁透镜。离子...
X射线管装置及X射线装置
提供能够以简单的结构进行X射线管装置的劣化检测和寿命预测的X射线管装置及X射线装置。X射线管装置(1)具备:阴极(10),具有发射电子的灯丝(12)和使被发射的电子聚焦的聚焦体(14);阳极(20),通过从灯丝(12)发射的电子的入射而发射...
一种用于电感耦合放电装置的高频天线接入装置
本发明公开了一种用于电感耦合放电装置的高频天线接入装置,其特点是:将高频天线两条支腿的各一侧通过差模扼流圈分别连接至离子源上盖板,两条支腿A1的另一侧的寄生电容C0和C0’分别与差模扼流圈L1和L1’并联,通过调节差模扼流圈L1和L1’,使...
一种采用锥形多段绝缘子的电子枪
本发明涉及一种采用锥形多段绝缘子的电子枪,包括阳极、绝缘结构、阴极支撑件、阴极筒、阴极和聚焦极,所述绝缘结构为锥形多段绝缘结构,该锥形多段绝缘结构包括多个锥形陶瓷段,相邻锥形陶瓷段间设置有金属封接薄片,形成交替堆叠结构,所述金属封接薄片在靠...
一种触刀型熔断器
本申请公开了一种触刀型熔断器,涉及熔断器的技术领域,其包括:熔断器本体、电源座、锁定机构、与触发机构;其中,当所述熔断器本体内部的主电路熔断时,所述顶杆向所述绝缘壳内部回缩,解除对所述锁定机构的抵触,随即触发锁定机构解锁,所述转台在所述扭簧...
一种基于双熔体设计的电路保护用激励熔断器
本发明涉及激励熔断器技术领域,具体为一种基于双熔体设计的电路保护用激励熔断器,装置本体,其内部填充有介质区域、并由上壳体和下壳体通过螺栓连接构成,上壳体和下壳体两侧通过开设卡接槽分别安装有一个电极片,两个电极片内通过两个熔体条连接;激发组件...
电路保护装置
一种电路保护装置,包含PTC元件、绝缘单元及装置电极单元。该PTC元件包括PTC层、第一PTC电极及第二PTC电极。该PTC层具有上表面、下表面及两个相反的侧壁,该两个侧壁互连于该上表面及该下表面。该第一PTC电极形成在该PTC层的上表面上...
隔弧式触头灭弧系统及高分断能力断路器
本发明公开了一种隔弧式触头灭弧系统及高分断能力断路器,隔弧式触头灭弧系统包括触头系统和灭弧系统,触头系统包括动触头组件和静触头组件,灭弧系统包括隔弧部件和灭弧室,隔弧部件设置有隔弧板和第一铰接点,隔弧部件传动连接于动触头组件;当动触头组件处...
一种带双灭弧罩及双断点的交直流两用断路器
本发明涉及一种带双灭弧罩及双断点的交直流两用断路器,通过在中座两侧对称设置双灭弧室,为电弧提供了两个高效的独立熄灭空间,其对称结构能均衡应对交流过零熄弧与直流强制熄弧的不同需求,从而可靠实现交直流两用,灭弧罩骨架的导气口、中座的导气侧壁与由...
一种灭弧系统及断路器
本发明公开了一种灭弧系统及断路器,包括:灭弧室组件、动触头组件和静触头组件,所述灭弧室组件安装在所述静触头组件的上端,所述动触头组件位于所述灭弧室组件具有开口的一端。相对于现有技术,该灭弧系统在开断短路电流时可使电弧更容易被引导至灭弧室中切...
磁控型断路器的手动合闸结构及磁控型断路器
磁控型断路器的手动合闸结构,包括支架;电磁机构,包括驱动杆;手动合闸组件,包括操作轴、推杆和滑动件,滑动件沿合闸方向滑动设置在支架上,能从第一位置切换至第二位置,且滑动件与驱动杆对应设置,操作轴绕第三转动中心c转动设置,推杆与操作轴连接,推...
磁控型断路器的自锁装置及磁控型断路器
磁控型断路器的自锁装置,包括固定架;电磁机构,包括限位杆和动铁芯;锁止组件,包括滚轴;解扣组件,包括顶杆和顶杆弹簧;顶杆弹簧用于驱动顶杆抵推滚轴运动至合闸位置,使滚轴与限位杆搭扣配合以阻挡动铁芯向分闸方向运动;顶杆用于受外力转动以解除对滚轴...
断路器的合闸保持结构及断路器
本发明提供了一种断路器的合闸保持结构及断路器,其包括:第一拐臂、第二拐臂、活动轴及弹性复位件;第一拐臂用于与外界的主轴连接,以绕主轴转动;第一拐臂开设有沿远离主轴的方向延伸的导向孔;第二拐臂可转动地连接于第一拐臂上;第二拐臂上相对于导向孔开...
一种断路器
本申请提供一种断路器,涉及低压电器技术领域,包括壳体,以及并排设置于所述壳体内的多个相单元,多个所述相单元的并排方向与所述相单元的布置方向垂直,相邻的所述相单元之间设置有沿所述布置方向布置的绝缘分隔壁,至少两个相邻的所述相单元之间的绝缘分隔...
一种单弹簧常闭型直流接触器
本发明公开了一种单弹簧常闭型直流接触器,包括静触点、上绝缘衬套、动触点、下绝缘衬套、传动杆、返回弹簧、支撑套、衔铁、静铁心以及线圈;所述静触点位于接触器上部,所述动触点安装在传动杆上端,动触点的上端面与静触点的下端面相配合;传动杆的中部设有...
一种继电器、串并联切换电路、车辆和充电系统
本申请公开了一种继电器、串并联切换电路、车辆和充电系统。继电器的接触部分包括至少两个开关,至少其中两个开关形成的第一开关组中各开关共用动触件形成公共动触件,各开关的静触件沿公共动触件的动作方向分别位于公共动触件的两侧;公共动触件适于沿其动作...
继电器
本公开提出一种继电器,其包括接触部分、推动结构以及保持组件;接触部分包括动接触组件及静接触组件;推动结构能带动动接触组件运动,以使动接触组件与静接触组件导通或者分离;保持组件包括固定部件及活动部件;活动部件能随推动结构运动,活动部件表面设置...
一种电磁继电器
本发明公开了一种电磁继电器,涉及继电器技术领域,电磁继电器包括壳体、推动件和动端子组,推动件滑动安装于壳体,动端子组包括两个动端子,两个动端子安装于推动件且沿推动件的滑动方向间隔布置,动端子伸出于推动件外部的部分为外伸部,推动件设有绝缘部,...
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