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  • 本申请提供了一种折反射式光刻投影系统及曝光装置,通过非同心反射镜组件与对称式透镜组的配合,本系统能够在大数值孔径条件下实现三阶像散、彗差、球差及色差的综合校正,使波像差保持在衍射极限以内,从而在实现大曝光视野的同时维持高分辨率成像能力。
  • 本发明提供了一种阻焊卷对卷直接成像设备,设备包括上卷站、曝光站和收卷站,上卷站和收卷站设有接料机构和恒张力送料机构,接料机构用于吸附定位辅助接料,恒张力送料机构通过纵向移动输送去护膜的物料;曝光站采用对位坐标系、曝光坐标系、标定坐标系、世界...
  • 本发明公开了大口径衍射结构剂量‑路径联合优化与拼接方法,涉及衍射结构制造技术领域,包括对大口径衍射结构的设计版图进行几何解析,得到分场与重叠区的空间布局数据并提取形貌控制相关关键特征点;以该空间布局数据和关键特征点为输入,训练以拼接区形貌平...
  • 本发明公开一种可变偏振、深宽比及像面旋转的高通量直写光刻方法,包括如下步骤:提供包括至少两种不同波长的光源,通过数字微镜阵列的开关状态切换光源,以选择性地使用不同波长的光源生成刻写光束;对数字微镜阵列反射的刻写光束进行偏振调制;通过光束调制...
  • 本发明涉及三五族半导体化合物用光刻胶清洗剂、其制备方法及用途,其中三五族半导体化合物用光刻胶清洗剂,按照重量份计算包括如下组分:缓蚀剂0.5‑2份;有机碱1‑20份;润湿剂10‑20份;有机溶剂70‑90份;超纯水1‑5份。本发明采用的缓蚀...
  • 一种成像设备,配置为在记录材料上形成图像,成像设备包括:设备主体,至少包括沿竖直方向布置的第一框架主体和第二框架主体;第一电气构件,设置在第一框架主体中,并且配置为基于电控制而物理地操作;第二电气构件,设置在第二框架主体中,并且配置为基于电...
  • 本发明提供了一种全息成像方法,并提供了相应的全息成像装置,所述成像装置设有一组以上限制光源组或显示屏定向投射的限投部组,一组限投部组设有2个以上限投部;所述全息成像方法包括以下步骤:1.1使限投部组发生运动,并通过在同一组限投部组的限投部,...
  • 本发明属于空间波前测量与单像素成像的交叉领域。一种基于线扫描调制实现快速波前单像素成像的装置,包括4f系统透镜组(1)、位移台(2)、数字微镜器件(3)、线扫描调制图案(4)、第一聚焦透镜(5)、第二聚焦透镜(6)、第一狭缝(7)、第二狭缝...
  • 本发明提供一种钟表,其具备:壳体,其具有开口部;以及第一外装构件,其配置于所述壳体的开口部,所述第一外装构件具有:环状的第一构件;以及第一突起部,其从沿着所述第一构件的周向的多个部位朝向所述第一构件的中心突出,所述第一外装构件的所述第一突起...
  • 本发明涉及用于钟表部件的发光粘合剂,其包含:粘合剂材料的第一层(10);第二层(11),即中间层,其包含基料,所述基料负载有10‑80质量%的在UVA光谱中发射的磷光颜料;对紫外线半透明的第三层(12),其包含基料,所述基料负载有10‑50...
  • 本发明涉及用于制造在钟表中使用的条轴(1)的方法,该条轴布置成围绕枢转轴线(D)枢转,并且包括凸缘部(3),该凸缘部包括用于支承发条内圈的支承表面(30),钩部(2)从该支承表面伸出,以接合在内圈中的孔眼内,并且凸缘部包括在对发条上条时用作...
  • 本申请公开了一种XR设备延时确定方法、装置、电子设备及存储介质,属于可穿戴智能设备技术领域,该方法包括:采集光源设备的光信号;采集第一XR设备的第一成像信号;将光信号与第一成像信号转换为电信号,确定光信号的波形与第一成像信号的波形;根据光信...
  • 本发明提出了一种基于多源融合的电压监测仪高精度同步授时方法,涉及电力系统技术领域,包括:通过电压监测仪同步采集多源授时信号;基于多源授时信号制定健康度评估指标以构建健康度评估模型,并对各授时源信号进行量化评估;根据量化评估结果筛选授时信号,...
  • 本发明涉及钟表领域,尤其涉及一种具有防雾功能的组装式手表,包括有开口环、连接块、连接套、表盘和锁止组件;开口环两端分别连接有一个连接块;两个连接块之间设置有连接套;连接套上连接有用于锁止滑条的锁止组件;连接套上连接有表盘。本发明实现了通过开...
  • 本公开提供了一种机器人性格切换方法、装置、设备、程序产品及机器人。该方法包括确定机器人佩戴的可更换配件的身份标识信息,可更换配件的身份标识信息关联一个性格配置参数集;基于所述身份标识信息获取与身份标识信息对应的性格模型,性格模型由性格配置参...
  • 本发明公开了一种片件摆放顺序防错装置,包括多维感知模块、智能控制模块、可重构定位模块、执行干预模块、区块链追溯模块及人机交互模块,各模块通过工业以太网通信;多维感知模块与智能控制模块采用时间敏感网络协议保障数据传输确定性,多维感知模块集成A...
  • 本发明公开了一种基于变增益扩张状态观测器与反步控制相结合的微型舵机伺服控制方法。首先,建立舵机三阶非线性模型并设计扩张状态观测器,其核心在于引入一个时变增益函数L(t)动态调节观测器带宽。通过融合归一化的飞行速度、迎角、过载及舵机角速度信息...
  • 本发明公开了一种深度调峰下湿法脱硫氧化风机全流程协同控制方法。该方法首先采集并处理氧化还原电位及风机运行参数;利用自适应算法计算理论需氧流量;结合防倒灌最小安全流量反算与脉冲吹扫逻辑,通过仲裁确定最终流量设定值并调节风机出力;同时建立气含率...
  • 本发明公开了多级溶解工艺参数优化控制方法及系统,涉及工业控制技术领域。该方法包括:建立由若干依次串联的溶解槽构成的多级溶解产线;利用循环母液质量预测器,预测预设时间范围内的循环母液质量指数及质量波动指数;分析确定各级控制复杂度;基于控制复杂...
  • 本申请公开了一种储能系统虚拟阻抗控制参数优化方法,所述方法结合模糊逻辑控制器和遗传算法进行控制参数优化,把电网运行数据作为模糊逻辑控制器的输入,利用模糊逻辑控制器计算PID控制参数的模糊调整量;以虚拟阻抗调节综合误差最小化为优化目标构建适应...
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