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最新专利技术
  • 一种晶圆清洗装置及其方法
    一种晶圆清洗装置及其方法_江苏芯创微智能装备有限公司_202610138469.4
    本发明涉及晶圆加工领域，公开了一种晶圆清洗装置及其方法，包括清洗槽，清洗槽内设置有连续清洗盘，连续清洗盘与驱动电机通过分度传动机构连接，驱动电机固定在清洗槽的侧壁上；连续清洗盘侧面沿周向分布有多个晶圆承载机构，对应连续清洗盘的位置处设置有清...
    2026-04-30
  • 缓存装置、检测设备及检测工艺
    缓存装置、检测设备及检测工艺_深圳中科飞测科技股份有限公司_202610378049.3
    本申请提供一种缓存装置、检测设备及检测工艺，涉及半导体技术领域，缓存装置包括仓体、仓盖、进气部和抽气部，仓体在第一方向上的一侧设有开口部，进气部与仓体内部连通，仓体内部沿第二方向依次设置多层用于容置待处理部件的容置部，在第二方向上，第一层容...
    2026-04-30
  • 一种晶圆清洗干燥系统及晶圆清洗干燥方法
    一种晶圆清洗干燥系统及晶圆清洗干燥方法_杭州众硅电子科技有限公司_202610398111.5
    本发明公开了一种晶圆清洗干燥系统及晶圆清洗干燥方法，包括：清洗腔，数量为至少两个，用于清洗晶圆；传输轨道，设于清洗腔旁侧；移动件，数量为至少一个，可往复移动地设于传输轨道；转送件，设于移动件，并可沿移动件升降以取放清洗腔内的晶圆；还包括；干...
    2026-04-30
  • 一种晶圆甩干支架及甩干装置
    一种晶圆甩干支架及甩干装置_荣耀电子材料(重庆)有限公司_202411432540.7
    本申请公开了一种晶圆甩干支架及甩干装置，涉及半导体制备技术领域，本申请的晶圆甩干支架，包括支架本体，支架本体内部形成安装槽，安装槽内用于安装晶圆盒，支架本体的外部尺寸与甩干装置的甩干槽的尺寸匹配，支架本体的一侧设置有用于使得晶圆盒进入安装槽...
    2026-04-30
  • 一种待钝化电池片上料设备及使用方法
    一种待钝化电池片上料设备及使用方法_宁夏小牛自动化设备股份有限公司_202411500967.6
    本申请公开一种待钝化电池片上料设备及使用方法，待钝化电池片上料设备包括料盒、载料台、搬片机构和转运机构，料盒包括料盒主体和按压组件，按压组件可移动地设于料盒主体上、且按压组件的一端伸入料盒主体的承载空间中，载料台用于承载多个叠置的电池片分片...
    2026-04-30
  • 一种芯片搬运过程监控方法及芯片搬运载具
    一种芯片搬运过程监控方法及芯片搬运载具_苏州通富超威半导体有限公司_202610007314.7
    本公开实施例提供了一种芯片搬运过程监控方法及芯片搬运载具，其中过程监控方法包括：将芯片搬运过程中的振动加速度与对应的振动阈值进行对比；根据对比结果和预设的风险判定逻辑，调整用于引导芯片搬运过程的运行路径的地图；根据芯片搬运过程中的实时运动数...
    2026-04-30
  • 基于数字孪生与机器学习的增强型对准半导体基板键合机
    基于数字孪生与机器学习的增强型对准半导体基板键合机_启迪原子私人有限公司_202511507268.9
    本发明涉及一种基于数字孪生与机器学习的增强型对准半导体基板键合机。该方法及系统利用先进的传感系统、数字孪生技术和机器学习，通过2D条形码、可变CD网格等独特对准标记，来获取基板在三维(3D)空间中的精确位置信息。该系统能优化基板键合的运动轨...
    2026-04-30
  • 一种晶圆载具环的定心定向装置
    一种晶圆载具环的定心定向装置_乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司_202610235345.8
    本发明提供了一种晶圆载具环的定心定向装置，包括：气动组件、电机组件、中间传动组件、转盘组件和校准组件；转盘组件包括上压板、导轨滑块、夹爪、轴承和导向块；导向块中具有导向槽；转盘组件下部通过上压板和中间传动组件相连，实现绕轴旋转动作；导向块和...
    2026-04-30
  • 基于机器视觉的光通信芯片封装旋转平台校正方法及系统
    基于机器视觉的光通信芯片封装旋转平台校正方法及系统_广东旭宇光电有限公司_202610357863.7
    本发明涉及通信芯片封装检测技术领域，解决了现有技术中旋转轴几何中心与实际传动参数未实现视觉闭环标定的问题，提供了一种基于机器视觉的光通信芯片封装旋转平台校正方法及系统。该方法包括：将标定板固定旋转平台；根据预设角度序列依次控制旋转平台旋转，...
    2026-04-30
  • 一种可见光定位系统及硅基柔性光电探测器的制备方法
    一种可见光定位系统及硅基柔性光电探测器的制备方法_苏州大学_202610401276.3
    本申请提供了一种可见光定位系统及硅基柔性光电探测器的制备方法，涉及可见光定位技术领域。本申请中可见光定位系统包括具有曲面结构的固定模块、至少两个硅基柔性光电探测器、数据处理模块和定位分析模块，硅基柔性光电探测器包括由上至下依次层叠布置的正面...
    2026-04-30
  • 采用分区式静电吸盘的高精度半导体基板键合机
    采用分区式静电吸盘的高精度半导体基板键合机_启迪原子私人有限公司_202511533213.5
    本发明涉及一种采用分区式静电吸盘的高精度半导体基板键合机，能够实现从基板中心逐步向边缘扩展的高度可控预键合。每个ESC区域均施加独立控制的直流偏置电压，以实现选择性静电吸附与解除静电吸附。同时，加压气体或可伸缩顶针可启动以中心为起点的预键合...
    2026-04-30
  • 一种晶圆承载模块、后处理单元和方法及处理设备
    一种晶圆承载模块、后处理单元和方法及处理设备_华海清科(上海)半导体有限公司_202512024878.X
    本发明提供一种晶圆承载模块、后处理单元和方法及处理设备，晶圆承载模块，用于在有水环境中翻转晶圆，包括：承载托架，包括驱动组件和主体，驱动组件驱动主体沿驱动轴翻转，主体的第一表面间隔设置一对上限位件和一对下限位件，上限位件和下限位件位于驱动轴...
    2026-04-30
  • 一种折叠式多功能晶圆搬运机械手及其控制方法
    一种折叠式多功能晶圆搬运机械手及其控制方法_北京和崎精密科技有限公司_202610028359.2
    本发明涉及半导体制造设备技术领域，特别是一种折叠式多功能晶圆搬运机械手及其控制方法，包括末端执行器和多功能臂，所述末端执行器包括执行器驱动装置和与之可拆卸连接的夹持装置，用于晶圆的夹持和搬运；执行器驱动装置包括双作用气缸、推杆，夹持装置包含...
    2026-04-30
  • 自适型吸力可控高精度晶圆吸盘抓取机构
    自适型吸力可控高精度晶圆吸盘抓取机构_北京和崎精密科技有限公司_202610028225.0
    本发明涉及半导体制造设备技术领域，特别是自适型吸力可控高精度晶圆吸盘抓取机构，包括依次连接的基体模块、传感模块、吸盘模块和控制模块，所述基体模块用于支撑整个吸盘抓手；所述传感模块固定于所述基体模块上，包括设置于吸盘抓手上的压电薄膜传感器以及...
    2026-04-30
  • 测试结构以及测试方法
    测试结构以及测试方法_中芯国际集成电路制造(上海)有限公司_202411482258.X
    一种测试结构及测试方法，测试结构包括：基底，包括第一测试区和第二测试区；第一金属层位于第一测试区和第二测试区的基底上方，且第一金属层沿第一方向延伸并沿第二方向间隔平行排布，且第一测试区的第一金属层的根数与第二测试区的第一金属层的根数不一致；...
    2026-04-30
  • 半导体结构及其形成方法
    半导体结构及其形成方法_中芯国际集成电路制造(上海)有限公司_202411498072.3
    一种半导体结构及其形成方法，结构包括：基底，包括第一器件区和第二器件区，以及位于第一器件区和第二器件区之间的加载区；第一信号焊垫，位于加载区；第二信号焊垫，位于第一信号焊垫侧部的加载区中，且第二信号焊垫与第一信号焊垫沿第一方向排布；第一线圈...
    2026-04-30
  • 电阻阵列测试结构及其布线方法、半导体器件
    电阻阵列测试结构及其布线方法、半导体器件_上海格易电子有限公司_202411498209.5
    本申请提供一种电阻阵列测试结构、半导体器件及电阻阵列测试结构的布线方法，电阻阵列测试结构包括：包括多个第一待检测电阻的第一检测单元组及包括多个第二待检测电阻的第二检测单元组，多个第一待检测电阻及多个第二待检测电阻均包括第一连接端及第二连接端...
    2026-04-30
  • 一种基于EPD曲线的刻蚀异常检测方法及系统
    一种基于EPD曲线的刻蚀异常检测方法及系统_成都数之联科技股份有限公司_202512023852.3
    本发明提供一种基于EPD曲线的刻蚀异常检测方法及系统，涉及刻蚀异常检测技术领域，所述方法流程为：获取刻蚀腔室的EPD曲线图像，并且对EPD曲线图像进行图像识别，以获取EPD曲线序列数据；对EPD曲线序列数据进行EPD曲线参数计算，以获取EP...
    2026-04-30
  • 半导体结构的测试方法、半导体结构及其制备方法
    半导体结构的测试方法、半导体结构及其制备方法_上海积塔半导体有限公司_202610050067.9
    本发明涉及一种半导体结构的测试方法、半导体结构及其制备方法。半导体结构包括外围区及阵列区，半导体结构的测试方法包括：根据预设步进值，逐步获取外围区的多个外围区电压以及阵列区的多个阵列区电压，每一组对应的外围区电压与阵列区电压构成一个测试结果...
    2026-04-30
  • 电子部件的检查装置以及电子部件的检查装置用带
    电子部件的检查装置以及电子部件的检查装置用带_DIC株式会社_202511419499.4
    本发明提供一种电子部件的检查装置以及电子部件的检查装置用带。本发明的检查装置具备：一对夹持夹具，其在X方向上移动自如，并夹持带(TA)的两个外缘部；一对挤压用轮(W)，其在X方向上彼此对置，旋转自如且在X方向上移动自如；驱动机构(电机(MW...
    2026-04-30
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