广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种兼容型静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234163U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521069015.3，技术领域涉及：H10P72/70；该实用新型一种兼容型静电卡盘是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容型静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体器件制造技术领域，具体涉及一种兼容型静电卡盘，包括从上至下依设有的介电层、电极导通层和底座，介电层和电极导通层之间设有多个从上至下依设的吸附组件，每个吸附组件均包括从上至下依次的电极层、吸附导通层以及多个导通线路，电极层包括多组正负极区，正负极区之间设有隔离区，导通线路的上端经吸附导通层与对应的正负极区电连接，导通线路的下端依次经位于导通线路下端的多个吸附组件、电极导通层和底座直至外界电源电连接，或导通线路的下端依次经电极导通层和底座直至外界电源电连接。兼容型静电卡盘通过控制不同区域的正负极区通电，改变吸附面积，且设多个分别用于吸附不同材质晶圆的吸附组件，兼容性强。
本实用新型一种兼容型静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种兼容型静电卡盘，其特征在于：包括从上至下依次设有的介电层1、电极导通层2和底座3，所述介电层1和电极导通层2之间设有多个从上至下依次设置的吸附组件，多个所述吸附组件分别用于吸附不同材质的晶圆，每个所述吸附组件均包括从上至下依次的电极层7、吸附导通层8以及多个位于同一水平面的导通线路9，所述电极层7包括多组位于同一水平面的正负极区，所述正负极区之间设有隔离区10，所述导通线路9的上端经吸附导通层8与对应的正负极区电连接，所述导通线路9的下端依次经位于该导通线路9下端的多个吸附组件、电极导通层2和底座3直至外界电源电连接，或者所述导通线路9的下端依次经电极导通层2和底座3直至外界电源电连接。
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