德沪涂膜设备(苏州)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉德沪涂膜设备(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆载台调平装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234120U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520351700.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆载台调平装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载台调平装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆载台调平装置，包括：第一承载台、第一调节组件和第二承载台。第一承载台用于承载晶圆，第一调节组件包括多个第一驱动机构，第一驱动机构用于驱动第一承载台进行升降，第二承载台设置于第一承载台周围，第二承载台用于承载掩膜板。本申请的晶圆载台调平装置不仅可以确保晶圆表面涂布的均匀性，从而提高涂布质量，而且还可以防止涂布液污染晶圆的背面，不需要对晶圆进行清洗，缩短了生产周期，从而提高生产效率和降低了生产成本，还可以提高涂布液的利用率。
本实用新型一种晶圆载台调平装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台调平装置，其特征在于，包括： 第一承载台，所述第一承载台用于承载晶圆； 第一调节组件，所述第一调节组件包括多个第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述第一承载台进行升降； 第二承载台，所述第二承载台设置于所述第一承载台周围，所述第二承载台用于承载掩膜板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人德沪涂膜设备(苏州)有限公司，其通讯地址为：215500 江苏省苏州市常熟市碧溪街道通港路58号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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