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龙图腾网获悉玛塔化研科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体轨道式回旋自动清洗载具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224218797U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521146181.9，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种半导体轨道式回旋自动清洗载具是由凡青松;孙峥设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体轨道式回旋自动清洗载具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体轨道式回旋自动清洗载具，包括水平导轨与滑动连接在其顶部的行走架，所述行走架的正面固定安装有行走电机，所述行走电机的输出轴贯穿并延伸至行走架的内部，所述行走电机的输出轴上固定连接有行走齿轮，所述行走齿轮与水平导轨的顶部啮合，所述行走架的顶部转动连接有承载架，所述行走架的内部安装有旋转电机。该实用新型，通过集成行走电机、旋转电机、微型气泵和电磁铁等组件，实现了晶圆的自动化高效清洗与取料，微型气泵和电磁铁的协同工作确保了晶圆的稳固吸附和轻松取下，减少了晶圆损伤风险，行走电机和旋转电机的配合使用，使得晶圆在清洗过程中能够全方位旋转，提高清洗均匀性和烘干效率。

本实用新型一种半导体轨道式回旋自动清洗载具在权利要求书中公布了：1.一种半导体轨道式回旋自动清洗载具，包括水平导轨1与滑动连接在其顶部的行走架2，其特征在于：所述行走架2的正面固定安装有行走电机3，所述行走电机3的输出轴贯穿并延伸至行走架2的内部，所述行走电机3的输出轴上固定连接有行走齿轮4，所述行走齿轮4与水平导轨1的顶部啮合，所述行走架2的顶部转动连接有承载架5，所述行走架2的内部安装有旋转电机6，所述旋转电机6与承载架5连接，所述承载架5的内部固定安装有均匀分布的限位座7，所述限位座7的顶部贯穿并延伸至承载架5的顶部，所述限位座7的顶部开设有均匀分布的吸附孔8，所述限位座7上固定安装有与其内部连通的微型气泵9，所述限位座7的内部设置有辅助组件10； 所述辅助组件10包含有安装槽1001，所述安装槽1001开设在限位座7的内壁上，所述安装槽1001的内壁上固定安装有电磁铁1002，所述安装槽1001的内壁上滑动连接有同步环1003，所述同步环1003的顶部固定连接有顶杆1004，所述顶杆1004位于吸附孔8的底部，所述同步环1003的底部固定安装有磁力块1005，所述磁力块1005与电磁铁1002磁性连接。

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