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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种基于偏振激光散射引导的s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121830721B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610303741.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种基于偏振激光散射引导的s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法及系统是由闫英;白倩;范佳霖;方子铿;刘晨曦设计研发完成，并于2026-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于偏振激光散射引导的s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法及系统在说明书摘要公布了：一种基于偏振激光散射引导的s‑SNOM亚表面缺陷精细成像方法及系统，属于光学无损检测的技术领域，基于沿激光传播方向依次设置的激光器、起偏器、偏振调制器、待测样品、分光器阵列、检偏器阵列和探测器实现，待测样品上包含亚表面缺陷。首先，对待测样品进行偏振散射快速检测得到偏振散射数据；其次，对亚表面结构不均匀性进行定量分析与风险评估，得到感兴趣区域；再次，对高风险区域进行感兴趣区域提取及检测任务调度；最后，对感兴趣区域进行高分辨率近场扫描成像。本发明在保持s‑SNOM高分辨成像优势的基础上，通过引入快速、有效的先验引导机制，能够实现偏振散射信息与近场成像之间的跨尺度协同，在大面积样品检测中兼顾效率与精度。

本发明授权一种基于偏振激光散射引导的s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于偏振激光散射引导的s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法，其特征在于，所述s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法基于s-SNOM亚表面缺陷精细成像系统实现，其包括沿激光传播方向依次设置的激光器1、起偏器2、偏振调制器3、待测样品4、分光器阵列6、检偏器阵列7和探测器8，其中待测样品4上包含亚表面缺陷5，亚表面缺陷5在偏振激光照射下引起散射光的偏振特性变化；所述s-SNOM亚表面缺陷精细成像方法包括如下步骤： 第一步，通过s-SNOM亚表面缺陷精细成像系统构建物理检测层，对待测样品4进行偏振散射快速检测，得到偏振散射数据； 第二步，基于第一步获得的偏振散射数据集，构建偏振特征与风险评估层，对待测样品4亚表面结构不均匀性进行定量分析与风险评估，得到感兴趣区域；所述偏振特征与风险评估层包括偏振参数计算单元、空间重构单元、风险图生成单元以及参数配置与阈值管理单元； 第三步，基于第二步生成的二维亚表面缺陷风险图，构建决策与调度层，对高风险区域进行感兴趣区域提取及检测任务调度；所述决策与调度层包括ROI提取单元以及ROI筛选与优先级评估单元； 第四步，构建跨系统坐标映射与控制层，实现偏振激光散射检测系统与s-SNOM成像系统之间的坐标统一与扫描控制；所述跨系统坐标映射与控制层包括参考标记识别单元、坐标变换计算单元以及扫描指令生成单元； 第五步，构建s-SNOM精细成像层，对第三步确定的感兴趣区域进行高分辨率近场扫描成像；所述s-SNOM精细成像层包括探针与近场激发单元、自适应扫描控制单元以及近场信号采集单元。

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