北京中科科美科技股份有限公司张永硕获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科科美科技股份有限公司申请的专利双驱动可变位真空镀膜机转架获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121555986B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610092431.8,技术领域涉及:C23C14/50;该发明授权双驱动可变位真空镀膜机转架是由张永硕;徐峰;高贵斌;王麟设计研发完成,并于2026-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本双驱动可变位真空镀膜机转架在说明书摘要公布了:本发明涉及镀膜机转架技术领域,公开了双驱动可变位真空镀膜机转架,该转架包括传动轴、固定于其上的公转盘、套装于传动轴且具有上下层齿圈的复合齿轮、与下层齿圈啮合的驱动齿轮、转动连接于公转盘的行星传动组件、下端连接有传动齿轮的若干转动杆以及变位机构。通过分别锁定驱动齿轮或传动轴并驱动另一部件,可实现转动杆绕主轴公转与绕自身轴线自转的复合运动,或在固定圆周位置上进行纯自转。变位机构包括设于公转盘上的弧形轨道和连接转动杆的变位支架,使转动杆的圆周位置可调并锁紧固定。本发明运动模式灵活,具备变位调整能力,并能通过设于中空传动轴内的温度传感器实现动态测温,有效提升了镀膜工艺的适应性、均匀性与可控性。
本发明授权双驱动可变位真空镀膜机转架在权利要求书中公布了:1.一种双驱动可变位真空镀膜机转架,其特征在于,包括: 传动轴1,所述传动轴1固定连接有公转盘2; 复合齿轮3,所述复合齿轮3通过轴承与所述传动轴1转动连接,且设有同轴分布的上层大齿圈32和下层小齿圈31; 驱动齿轮4,与所述下层小齿圈31啮合; 若干个行星传动组件,所述行星传动组件通过行星轴51转动连接于所述公转盘2,且每个行星传动组件包括固定于所述行星轴51的上齿轮52和下齿轮53,所述下齿轮53与所述上层大齿圈32啮合; 若干转动杆6,被配置为跟随所述公转盘2公转,所述转动杆6的下端连接有与所述上齿轮52啮合的传动齿轮7; 变位机构,包括固定于所述公转盘2上表面的弧形变位轨道13以及转动连接于所述转动杆6下端的变位支架12,所述变位支架12可沿所述变位轨道13滑动并通过锁紧件固定于所述变位轨道13上的不同位置的锁紧位置上; 所述弧形变位轨道13的圆心与所述行星轴51的轴线重合。
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