广东欧芯微电子有限公司王俊宾获国家专利权
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龙图腾网获悉广东欧芯微电子有限公司申请的专利一种场效应晶体管质量检测系统及其设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121069136B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511150954.5,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种场效应晶体管质量检测系统及其设备是由王俊宾;吴绵璇;王俊浩;刘志豪;梁科宁;贺浩洋设计研发完成,并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种场效应晶体管质量检测系统及其设备在说明书摘要公布了:本发明属于晶体管检测技术领域,具体是一种场效应晶体管质量检测系统及其设备,其中,该系统包括晶体管扫描模块、结构可靠性分析模块、信号激励生成模块、智能特征分析模块、晶体管质量评估决策模块和交互报警端;本发明通过结构可靠性分析模块基于晶体管图像进行分析以评估场效应晶体管的结构可靠性,在生成结构可靠信号时生成适用于场效应晶体管检测的多种激励信号,智能特征分析模块采集场效应晶体管在信号激励下的多种电参数和非电参数并深度分析,根据分析报告并结合预设的质量标准和评估模型,对场效应晶体管进行全面客观的质量评估,实现对场效应晶体管的全面、高效且精准检测,有利于提高质量检测水平和生产效率。
本发明授权一种场效应晶体管质量检测系统及其设备在权利要求书中公布了:1.一种场效应晶体管质量检测系统,其特征在于,包括晶体管扫描模块、结构可靠性分析模块、信号激励生成模块、智能特征分析模块、晶体管质量评估决策模块和交互报警端;晶体管扫描模块对场效应晶体管进行外观扫描,结构可靠性分析模块基于晶体管图像进行分析以评估场效应晶体管的结构可靠性,据此生成结构可靠信号或结构非可靠信号; 在生成结构可靠信号时,信号激励生成模块生成适用于场效应晶体管检测的多种激励信号,智能特征分析模块采集场效应晶体管在信号激励下的多种电参数和非电参数,对采集的数据进行深度分析,提取场效应晶体管的关键性能特征;晶体管质量评估决策模块根据智能特征分析模块提供的分析报告,结合预设的质量标准和评估模型,对场效应晶体管的质量进行综合评估,且将晶体管质量检测报告发送至交互报警端; 结构可靠性分析模块的具体分析过程包括: 获取到晶体管图像并将其与对应标准图像进行轮廓重合比对,据此采集到场效应晶体管的轮廓重合度,若轮廓重合度未超过预设轮廓重合度阈值,则生成相应场效应晶体管的结构非可靠信号;若轮廓重合度超过预设轮廓重合度阈值,则进行缺陷识别决策分析; 缺陷识别决策分析的具体分析过程如下: 基于晶体管图像捕捉场效应晶体管表面所存在的缺陷,采集到相应缺陷的各项参数的检测数据,将各项参数的检测数据与对应的预设数据安全阈值进行比对,若存在检测数据超过对应预设数据安全阈值的参数,则将相应缺陷标记为致命缺陷;若场效应晶体管上存在致命缺陷,则生成相应场效应晶体管的结构非可靠信号; 若场效应晶体管上不存在致命缺陷,则在场效应晶体管上划设若干个子检区,若相应子检区内涉及到缺陷,则将相应子检区标记为表险区;获取到场效应晶体管上表险区的数量并将其与子检区的数量进行比值计算得到表险检测值,将表险检测值与预设表险检测阈值进行数值比较,若表险检测值超过预设表险检测阈值,则生成相应场效应晶体管的结构非可靠信号; 若表险检测值未超过预设表险检测阈值,则获取到场效应晶体管上表险区的聚集区域,将相应聚集区域标记为目标区域;获取到相应目标区域所涉及的表险区的数量并将其标记为表险聚集值,将表险聚集值与预设表险聚集阈值进行数值比较,若表险聚集值超过预设表险聚集阈值,则将相应目标区域标记为聚集隐患区域; 获取到相应场效应晶体管上聚集隐患区域的数量并将其标记为聚集隐患值,且将数值最大的表险聚集值标记为表险聚幅值;通过将表险检测值、聚集隐患值和表险聚幅值进行加权求和计算得到结构可靠影响值,将结构可靠影响值与预设结构可靠影响阈值进行数值比较,若结构可靠影响值超过预设结构可靠影响阈值,则生成相应场效应晶体管的结构非可靠信号;若结构可靠影响值未超过预设结构可靠影响阈值,则生成相应场效应晶体管的结构可靠信号。
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