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龙图腾网获悉元能微电子科技南通有限公司申请的专利太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120874545B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510970251.0，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法及系统是由王世贤;戴军;徐彬彬;管一军设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法及系统在说明书摘要公布了：本申请提供太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法及系统，属于参数调优技术领域，太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法包括根据湿法工艺的制程将湿法工艺划分为预处理制程、提纯制程、刻蚀制程及后处理制程；分别创建预处理预测模型、提纯预测模型、刻蚀预测模型以及后处理预测模型，并得到适度值函数；获取湿法工艺中各预设的工艺参数；工艺参数包括硅片类型、提纯液参数、刻蚀液参数以及清洗液参数；将适度值函数和各预设工艺参数输入至工艺参数预测模型，根据预设工艺参数得到初始种群，并根据适度值函数指导初始种群进化，以搜索得到优化工艺参数。显著提升太阳能电池制造过程中湿法工艺的稳定性和一致性。

本发明授权太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法，其特征在于，包括： 根据湿法工艺的制程将湿法工艺划分为预处理制程、提纯制程、刻蚀制程及后处理制程； 分别创建与所述预处理制程对应的预处理预测模型、与提纯制程对应的提纯预测模型、与刻蚀制程对应的刻蚀预测模型以及与所述后处理制程对应的后处理预测模型； 获取湿法工艺中各预设的工艺参数；所述工艺参数包括硅片类型、提纯液参数、刻蚀液参数以及清洗液参数，根据所述工艺参数得到初始种群； 将所述硅片类型和所述清洗液参数输入至所述预处理预测模型中，以输出硅片表面的清洁度预测数据及清洗液残留预测数据； 将所述提纯液参数、硅片表面的清洁度预测数据及清洗液残留预测数据输入至所述提纯预测模型，以输出硅片预测纯度； 将硅片预测纯度和所述刻蚀液参数输入至所述刻蚀预测模型中，以输出刻蚀预测深度和刻蚀残留预测数据； 将所述清洗液参数、所述刻蚀预测深度和刻蚀残留预测数据输入至后处理预测模型，以输出硅片产品预测清洁度及硅片产品预测平整度； 获取刻蚀预测深度的第一权重、硅片产品预测清洁度的第二权重以及硅片产品预测平整度的第三权重； 根据所述第一权重、所述第二权重和所述第三权重，对所述刻蚀预测深度、所述硅片产品预测清洁度及所述硅片产品预测平整度进行加权求和，得到适度值； 根据所述适度值指导所述初始种群进化，以搜索得到优化工艺参数。

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