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龙图腾网获悉盛吉盛半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈及调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116013635B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310059091.5，技术领域涉及：H01F5/00；该发明授权一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈及调节方法是由王雄设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈及调节方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈及调节方法，其属于半导体设备技术领域，所述用于ICP设备的高度可调式感应线圈包括设置于ICP设备的机台腔室盖板上的外层线圈和内层线圈，外层线圈和内层线圈均分别通过伸缩固定柱与机台腔室盖板相连接；伸缩固定柱包括螺纹帽和螺纹柱；螺纹帽的上端与对应的外层线圈或内层线圈相连接，螺纹帽的下端与螺纹柱的上端螺纹连接，螺纹柱的下端通过调节机构与机台腔室盖板可转动地连接。本发明实现了在ICP设备工作过程中不停机地、实时地进行线圈安装高度的调节，从而快速且精确地调节流经射频匹配器和感应线圈的电流大小，本发明大幅提高了工作效率且保证了ICP设备性能，有助于提高所处理的半导体器件质量。

本发明授权一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈及调节方法在权利要求书中公布了：1.一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈，其包括设置于ICP设备的机台腔室盖板上的外层线圈和内层线圈，其特征在于，外层线圈和内层线圈均分别通过伸缩固定柱与机台腔室盖板相连接； 伸缩固定柱包括螺纹帽和螺纹柱；螺纹帽的上端与对应的外层线圈或内层线圈相连接，螺纹柱外侧面上沿其长度方向设置有刻度，螺纹帽的下端与螺纹柱的上端螺纹连接，螺纹柱的下端通过调节机构与机台腔室盖板可转动地连接，调节机构为手动调节机构或电动调节机构； 外层线圈和内层线圈均呈圆柱螺旋线状，每个外层线圈或内层线圈均为一端通过伸缩固定柱与机台腔室盖板相连接并接地，另一端通过接头与固定设置的射频匹配器相连接；外层线圈与内层线圈通过各自接头与各自对应的射频匹配器相连； 外层线圈和内层线圈均为多线螺纹状的多层感应线圈，由多条圆柱螺旋线组成，其中每条圆柱螺旋线均为一个线圈，并在两端分别设置伸缩固定柱和接头，接头位于该线圈中心位置，伸缩固定柱位于远离该线圈中心的位置；多个伸缩固定柱沿对应的外层线圈或内层线圈的周向均匀分布。

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