佳能特机株式会社须志原友和获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114908321B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210094086.3，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法是由须志原友和设计研发完成，并于2022-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法在说明书摘要公布了：本发明提供抑制输送中的基板的曲行的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法。支承输送体的两侧并进行输送的输送装置具备：第1输送辊，其支承朝向输送方向的输送体的左侧，对输送体进行输送；第2输送辊，其支承朝向输送方向的输送体的右侧，对输送体进行输送；检测部件，其检测相对于基准的输送体的姿势的偏移；以及控制部件，其独立地控制第1输送辊和第2输送辊，以修正由检测部件检测出的偏移。
本发明授权基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种输送装置，所述输送装置支承输送体的两侧并进行输送，其特征在于，具备： 第1输送辊，其支承朝向输送方向的所述输送体的左侧，对所述输送体进行输送； 第2输送辊，其支承朝向所述输送方向的所述输送体的右侧，对所述输送体进行输送； 检测部件，其检测相对于基准的所述输送体的姿势的偏移；以及 控制部件，其独立地控制所述第1输送辊和第2输送辊，以修正由所述检测部件检测出的所述偏移， 所述检测部件监测所述第1输送辊和所述第2输送辊的伺服马达的消耗电力， 所述控制部件基于所述消耗电力来判定相对于基准的所述输送体的姿势的偏移，设定对所述第1输送辊和第2输送辊的伺服马达的控制值。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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