上海铠铂云信息科技有限公司王善谦获国家专利权
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龙图腾网获悉上海铠铂云信息科技有限公司申请的专利一种带有防撞功能的晶圆盒跨单元或跨线体搬运装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205635U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521208038.8,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型一种带有防撞功能的晶圆盒跨单元或跨线体搬运装置是由王善谦;范祜台设计研发完成,并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有防撞功能的晶圆盒跨单元或跨线体搬运装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种带有防撞功能的晶圆盒跨单元或跨线体搬运装置,包括主框架;在主框架的一侧设置有搬运组件,所述搬运组件的一段置于主框架的外部,另一端处于所述主框架的底部;且搬运组件与主框架呈垂直状分布;所述主框架的顶部还设置有三轴机械手,所述三轴机械手处于所述搬运组件的正上方;通过设计的吸取组件,摒弃现有与吸盘直连的方式,改为错位柔性连接,即使出现三轴机械手快速下降,也不会造成晶圆盘的损坏,同时还能够实现快速连接,完善了现有搬运装置在吸取晶圆盘中存在的不足,同时该吸取组件无需另外设置抽真空组件即可实现负压,进一步降低整个搬运装置的制造成本,并且方便后续的维护。
本实用新型一种带有防撞功能的晶圆盒跨单元或跨线体搬运装置在权利要求书中公布了:1.一种带有防撞功能的晶圆盒跨单元或跨线体搬运装置,包括 主框架; 其特征在于: 在主框架的一侧设置有搬运组件3,所述搬运组件3的一段置于主框架的外部,另一端处于所述主框架的底部;且搬运组件3与主框架呈垂直状分布;所述主框架的顶部还设置有三轴机械手2,所述三轴机械手2处于所述搬运组件3的正上方; 所述三轴机械手2的底端安装有吸取组件,该吸取组件包括: 连接件,与三轴机械手2的底端固定,该连接件在下压中实现自身高度收缩; 吸取件,设置在所述连接件的底端,该吸取件在所述连接件下压时,将自身内部空气排出,并形成负压。
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