南京美赫半导体设备有限公司胡小伟获国家专利权
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龙图腾网获悉南京美赫半导体设备有限公司申请的专利一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224205631U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521009132.0，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘装置是由胡小伟;陈玲;叶伟强设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘装置，包括上部分吸盘本体和下部分吸盘本体，所述上部分吸盘本体底面固定在下部分吸盘本体顶面，所述上部分吸盘本体包括外部O型橡胶圈、中部O型橡胶圈、内部O型橡胶圈和金属面，所述外部O型橡胶圈、中部O型橡胶圈和内部O型橡胶圈均同心固定在金属面顶面，所述金属面沿内部O型橡胶圈排列若干气孔，所述中部O型橡胶圈与外部O型橡胶圈中间的金属面设有若干扇环槽，所述扇环槽内设有气孔，所述下部分吸盘本体底面中心设有连接孔。本实用新型使用多个O型橡胶圈吸附，晶圆与金属面不直接接触，降低晶圆破碎概率，适用于多种不同尺寸的晶圆。
本实用新型一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘装置，其特征在于：包括上部分吸盘本体1和下部分吸盘本体7，所述上部分吸盘本体1底面固定在下部分吸盘本体7顶面，所述上部分吸盘本体1包括外部O型橡胶圈2、中部O型橡胶圈3、内部O型橡胶圈4和金属面5，所述外部O型橡胶圈2、中部O型橡胶圈3和内部O型橡胶圈4均同心固定在金属面5顶面，所述金属面5沿内部O型橡胶圈4排列若干气孔6，所述中部O型橡胶圈3与外部O型橡胶圈2中间的金属面5设有若干扇环槽11，所述扇环槽11内设有气孔6，所述下部分吸盘本体7底面中心设有连接孔9。
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