盖泽精密科技(苏州)有限公司周益初获国家专利权
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龙图腾网获悉盖泽精密科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于夹持晶圆的夹爪安装盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205620U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520581331.2,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种用于夹持晶圆的夹爪安装盘是由周益初;卢利军;任杰;周亭成;王昱栋;包路红设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于夹持晶圆的夹爪安装盘在说明书摘要公布了:本申请属于半导体技术领域,具体为一种用于夹持晶圆的夹爪安装盘,包括盘本体,盘本体的中央设有通孔,盘本体上在通孔的周围圆周均匀设置有至少两个滑块,盘本体上设有未遮挡通孔的同步运动传动器,同步运动传动器的输入端传动连接一个滑块,同步运动传动器的输出端传动连接剩余的滑块,每个滑块在盘本体上的滑动方向的延长线均经过通孔的圆心,盘本体上设有驱动装置,与同步运动传动器的输入端传动连接的滑块传动连接驱动装置的输出端,每个滑块上各设有一个夹爪安装器,通过同步运动传动器,能够使得所有滑块同步远离盘本体的中央或同步靠近盘本体的中央,解决了目前用于夹持晶圆的夹具上没有预留安装辅助构件的位置的问题。
本实用新型一种用于夹持晶圆的夹爪安装盘在权利要求书中公布了:1.一种用于夹持晶圆的夹爪安装盘,其特征在于,包括盘本体1,所述盘本体1的中央设有通孔2,所述盘本体1上在所述通孔2的周围圆周均匀设置有至少两个滑块3,所述盘本体1上设有未遮挡所述通孔2的同步运动传动器,所述同步运动传动器的输入端传动连接一个所述滑块3,所述同步运动传动器的输出端传动连接剩余的所述滑块3,每个所述滑块3在所述盘本体1上的滑动方向的延长线均经过所述通孔2的圆心,所述盘本体1上设有驱动装置,与同步运动传动器的输入端传动连接的滑块3传动连接驱动装置的输出端,每个所述滑块3上各设有一个夹爪安装器,通过所述同步运动传动器,能够使得所有所述滑块3同步远离所述盘本体1的中央或同步靠近所述盘本体1的中央。
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