四川明泰微电子科技股份有限公司李蛇宏获国家专利权
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龙图腾网获悉四川明泰微电子科技股份有限公司申请的专利一种基板加热载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521088449.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种基板加热载具是由李蛇宏;杨益东;王颜辉;杨春林设计研发完成,并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板加热载具在说明书摘要公布了:一种基板加热载具,包括矩形板,矩形板从上至下贯穿地开设有多个矩形孔,矩形孔均匀的分布在矩形板上,矩形孔的上端开设有环槽,矩形孔长度方向的两端分别开设有内嵌槽,内嵌槽的底部穿设有穿杆,穿杆的下端设有端帽,端帽位于矩形板的下侧,穿杆的上端通过螺纹连接有上顶板,上顶板开设有台阶槽,穿杆的上端套设有弹簧,弹簧位于上顶板与内嵌槽的底部之间,矩形孔的宽度方向两侧分别开设有一对腰形孔,腰形孔内活动设有移动螺钉,位于同侧的移动螺钉上端通过螺纹连接有上卡板,上卡板位于矩形板的上侧。本实用新型方便基板的取放操作,提升了对基板的限位固定效果,以免基板转移时出现移动的问题,并且能够确保基板下壁和加热块的接触效果。
本实用新型一种基板加热载具在权利要求书中公布了:1.一种基板加热载具,包括矩形板3,矩形板3从上至下贯穿地开设有多个矩形孔30,矩形孔30均匀的分布在矩形板3上,矩形孔30的上端开设有环槽31,环槽31的四个角处开设有弧形槽32,其特征在于,矩形孔30长度方向的两端分别开设有内嵌槽300,内嵌槽300的底部穿设有穿杆42,穿杆42的下端设有端帽43,端帽43位于矩形板3的下侧,穿杆42的上端通过螺纹连接有上顶板44,上顶板44的内侧端开设有台阶槽45,穿杆42的上端套设有弹簧46,弹簧46位于上顶板44与内嵌槽300的底部之间; 矩形孔30的宽度方向两侧分别开设有一对腰形孔33,腰形孔33内活动设有移动螺钉34,位于同侧的移动螺钉34上端通过螺纹连接有上卡板35,上卡板35位于矩形板3的上侧。
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