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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119748254B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411814618.1，技术领域涉及：B24B9/06；该发明授权用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备是由路新春;郭垒;杨娴;杨志冰设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备。该检测方法包括对待检测晶圆进行定位；获取定位后的待检测晶圆的平面部形貌数据和曲面部形貌数据；对平面部形貌数据和曲面部形貌数据分别进行曲线拟合，得到第一曲线和第二曲线；对曲线进行特征提取及特征点匹配；基于匹配的特征点对，计算两条曲线之间的单应性变换矩阵；确定所述第一曲线和第二曲线的重合区域；确认最佳缝合点；根据最佳缝合点将第一曲线和第二曲线进行对接，将对接后的曲线作为待检测晶圆的边缘检测曲线。通过晶圆的寻心定位，高度补偿，曲线拟合和形貌观测等功能的集成一体化设计，确保了多参数测量的数据同步性，增强了测量结果的准确性和可靠性。

本发明授权用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆边缘抛光的检测方法，晶圆包括平面部和边缘处的曲面部，其特征在于，包括以下步骤： S1、获取待检测晶圆的平面部形貌数据和曲面部形貌数据，平面部形貌数据包括晶圆平面部上沿径向方向的一直线段的数据，曲面部形貌数据包括晶圆曲面部在一径向截面处的一曲线段的数据； S2、对平面部形貌数据和曲面部形貌数据分别进行曲线拟合，得到第一曲线和第二曲线； S3、对第一曲线和第二曲线分别进行特征点提取，并对特征点进行匹配； S4、基于匹配的特征点对之间的几何对应关系，变换第一曲线和第二曲线之一的几何位置，以使每对匹配的特征点对中的两个特征点重合； S5、对变换后的第一曲线和第二曲线的重合区域内的点，基于曲率特征进行筛选以确定最佳缝合点； S6、在最佳缝合点处将第一曲线和第二曲线进行对接，将对接后的曲线作为待检测晶圆的边缘检测曲线； 在S5中，通过构建成本函数对重合区域内的点进行筛选，成本函数设置为基于曲率特征评估重合区域内的点作为缝合点的优劣； 按照如下公式构建成本函数： ，其中，R是重合区域内的点集，pk是R中的点，ωk是分配给pk的权重并且设置成点的曲率或曲率变化的函数，dpk，p是点pk到缝合点p的距离； 根据重合区域内的点所在位置的曲率或者曲率变化率设置权重，当成本函数取得最小化时的缝合点即为最佳缝合点。

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