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龙图腾网获悉长沙华实半导体有限公司申请的专利真空角阀的多功能测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119618623B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411694473.6，技术领域涉及：G01M13/003；该发明授权真空角阀的多功能测试系统是由朱永超;刘阳设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空角阀的多功能测试系统在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种真空角阀的多功能测试系统，测试系统包括压力调节模块、测试通路、负压发生模块及控制模块，压力调节模块的入口用于与加压供气模块连通；测试通路包括第一电控阀、第二电控阀、压力感应模块及位置感应模块，位置感应模块对应待测角阀设置；负压发生模块用于与待测角阀的管道出口连通，以对待测角阀的管道进行抽真空；控制模块与压力调节模块、第一电控阀、第二电控阀、压力感应模块、负压发生模块及位置感应模块均电连接。本申请实施例的负压发生模块可以对待测角阀的管道出口进行抽真空，从而模拟待测角阀的真实使用环境，使得真空角阀的多功能测试系统测试的数据更加精准。

本发明授权真空角阀的多功能测试系统在权利要求书中公布了：1.一种真空角阀的多功能测试系统，其特征在于，包括： 压力调节模块，所述压力调节模块的入口用于与加压供气模块连通； 测试通路，所述测试通路包括第一电控阀、第二电控阀、压力感应模块及位置感应模块，所述第一电控阀的入口与所述压力调节模块的出口连通，所述第二电控阀的入口与所述第一电控阀的出口连通，所述第二电控阀的出口用于连通待测角阀的控气端，所述压力感应模块连通于所述第一电控阀与所述第二电控阀之间，所述位置感应模块对应所述待测角阀设置；所述位置感应模块包括激光传感器和霍尔传感器，所述激光传感器正对所述待测角阀的执行组件设置，所述霍尔传感器设置于所述待测角阀；所述真空角阀的多功能测试系统还包括机台及设置于所述机台的滑动模组，所述激光传感器设置于所述滑动模组，且所述激光传感器设置于所述待测角阀的上方，所述滑动模组用于调整所述激光传感器相对于所述待测角阀的位置；所述测试通路还包括第三电控阀、第四电控阀及负压感应模块，所述第三电控阀的入口与所述压力调节模块的出口连通，所述第三电控阀的出口用于与所述待测角阀的管道入口连通；所述第四电控阀的入口用于与所述待测角阀的管道出口连通，所述第四电控阀的出口与负压发生模块连通；所述负压感应模块设置于所述第四电控阀的入口； 负压发生模块，所述负压发生模块用于与所述待测角阀的管道出口连通，以对所述待测角阀的管道进行抽真空； 控制模块，所述控制模块与所述压力调节模块、所述第一电控阀、所述第二电控阀、所述压力感应模块、所述第三电控阀、所述第四电控阀、所述负压感应模块、所述负压发生模块及所述位置感应模块均电连接。

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