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龙图腾网获悉拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请的专利一种激光解键合设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119589112B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411775993.X，技术领域涉及：B23K26/064；该发明授权一种激光解键合设备和方法是由郭雨佳;马双义设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光解键合设备和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种激光解键合设备和方法。该设备包括：激光发射件；分光镜，将接收到初始激光分为射向焦斑分析仪的第一激光和射向键合件的牺牲层的第二激光，其中，分光镜到焦斑分析仪和牺牲层的距离相同；红外视觉组件，获取牺牲层上第二激光的红外光斑图；以及控制器，被配置为：经由焦斑分析仪获取第一激光的光斑尺寸，其中第一激光的光斑尺寸等同于第二激光的光斑尺寸；初调激光发射件到牺牲层的工作距离，以使第二激光的光斑到达最优尺寸；经由红外视觉组件获取第二激光的红外光斑图，精调激光发射件到牺牲层的工作距离；和响应于激光发射件调整到最优工作距离，对牺牲层激光扫描解键合。本发明能够迅速准确地找到激光发射件的最优工作距离。

本发明授权一种激光解键合设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种激光解键合设备，其特征在于，包括： 激光发射件，发射解键合的初始激光； 分光镜，将接收到的所述初始激光分为射向焦斑分析仪的第一激光和射向键合件的牺牲层的第二激光，其中，所述分光镜到所述焦斑分析仪和所述牺牲层的距离相同； 红外视觉组件，获取所述牺牲层上的所述第二激光的红外光斑图；以及 控制器，被配置为：经由所述焦斑分析仪获取所述第一激光的光斑尺寸，其中，所述第一激光的光斑尺寸等同于所述第二激光的光斑尺寸；初调所述激光发射件到所述牺牲层的工作距离，以使所述第二激光的光斑到达最优尺寸；经由所述红外视觉组件获取所述第二激光的红外光斑图，精调所述激光发射件到所述牺牲层的工作距离，以补偿所述焦斑分析仪的误差；以及响应于所述激光发射件调整到最优工作距离，对所述牺牲层进行激光扫描解键合，其中， 所述初调所述激光发射件到所述牺牲层的工作距离，以使所述第二激光的光斑到达最优尺寸的步骤包括：沿直线方向移动所述激光发射件，调节所述激光发射件到所述牺牲层的工作距离；以及经由所述焦斑分析仪中的所述第一激光的第一轮光斑大小变化规律，获取所述第二激光的光斑的第一最小尺寸作为最优尺寸， 所述经由所述红外视觉组件获取所述第二激光的光斑图，精调所述激光发射件到所述牺牲层的工作距离，以补偿所述焦斑分析仪的误差的步骤包括：基于所述红外视觉组件获得的所述第二激光的红外光斑图，判断所述第二激光的光斑是否符合解键合的工艺需求；响应于所述第一最小尺寸的第二激光的光斑的激光能量不足以烧蚀所述牺牲层，继续沿所述直线方向移动所述激光发射件，调节所述激光发射件到所述牺牲层的工作距离；以及经由所述焦斑分析仪中的所述第一激光的第二轮光斑大小变化规律，获取所述第二激光的光斑的第二最小尺寸作为最优尺寸，其中，所述第二最小尺寸小于所述第一最小尺寸。

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