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广东金湾高景太阳能科技有限公司;四川高景太阳能科技有限公司周禹获国家专利权

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龙图腾网获悉广东金湾高景太阳能科技有限公司;四川高景太阳能科技有限公司申请的专利一种硅片自动超精磨设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117817487B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311781036.3,技术领域涉及:B24B9/16;该发明授权一种硅片自动超精磨设备是由周禹;付明全;郭翔设计研发完成,并于2023-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅片自动超精磨设备在说明书摘要公布了:本发明涉及硅片加工加工技术领域,具体涉及一种硅片自动超精磨设备,本发明的硅片自动超精磨设备在工作台上设计多个硅片固定装置,利用空间位移装置来驱动精磨装置来适配每个硅片固定装置,这样可以极大地提高加工的效果。每个硅片固定装置上利用平面调节机构来调整夹持工装上的硅片相对精磨装置的位置,再利用水平度调节机构来调节夹持工装上堆叠的多片硅片的棱边所构成的待磨削面相对精磨装置的磨削平面的水平度,保证硅片边沿的平整,避免出现同一批次硅片加工中出现尺寸不一的情况;再利用角度调节机构来调节夹持工装上多片硅片的长度方向相对精磨装置的磨削方向,保证打磨的质量。

本发明授权一种硅片自动超精磨设备在权利要求书中公布了:1.一种硅片自动超精磨设备,其特征在于,包括: 机架,其上设置有工作台; 若干硅片固定装置,所有所述硅片固定装置均安装在所述工作台上,每个所述硅片固定装置均包括平面调节机构和水平度调节机构,所述平面调节机构的底部滑动安装在所述工作台上,所述平面调节机构能够与所述工作台相对锁止;所述水平度调节机构安装在所述平面调节机构的顶部,所述水平度调节机构的顶部设置有角度调节机构,所述角度调节机构的顶部上设置有用于固定硅片的夹持工装; 空间位移装置,其安装在所述机架上; 精磨装置,其安装在所述空间位移装置的调节端上,所述精磨装置能够对所有所述夹持工装上的硅片进行磨削; 所述水平度调节机构包括固定壳体以及四条升降螺杆,四条所述升降螺杆能够分别转动设置在所述固定壳体的四个边角上;所述角度调节机构安装在所述固定壳体的顶部;四条所述升降螺杆的下端分别与所述平面调节机构的顶部抵接;所述平面调节机构的顶部上设置有若干滑动导柱,所述固定壳体上设置有若干与所述滑动导柱配合的滑孔,所述固定壳体能够在所述滑动导柱上滑动但不能从所述滑动导柱的顶部滑出,所述固定壳体上安装有两组调节件,每组所述调节件均能够与两根所述升降螺杆配合且能够分别单独调节任一根所述升降螺杆下端的伸出量; 每个所述调节件均包括操作轴以及活动套装在操作轴上的两个蜗轮,所述操作轴的两端均能够转动安装在所述固定壳体相对的两个内侧壁上,所述操作轴的一端活动穿出所述固定壳体,所述操作轴能够沿其轴向方向在所述固定壳体上滑动;所述操作轴位于所述固定壳体外的一端形成操作端;两个所述蜗轮分别单独与同一侧上的两根所述升降螺杆啮合;所述操作轴位于两个所述蜗轮之间的区域上设置有两组摩擦片,所述操作轴沿着两个所述蜗轮的轴线的任一端方向滑动时,每组所述摩擦片仅能与对应一端的所述蜗轮上的侧面抵接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东金湾高景太阳能科技有限公司;四川高景太阳能科技有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市金湾区三灶镇湖滨路1566号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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