应用材料以色列公司S·拉奇米获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利光学自动聚焦单元和用于自动聚焦的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117637418B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311062696.6，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权光学自动聚焦单元和用于自动聚焦的方法是由S·拉奇米;H·法米尼设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学自动聚焦单元和用于自动聚焦的方法在说明书摘要公布了：一种带电粒子评估系统，可以包括：柱，所述柱包括开口；照明单元，所述照明单元经配置为用穿过开口的电子束扫描样品的区域；以及光学自动聚焦单元，所述光学自动聚焦单元经配置为i在用电子束扫描所述区域期间，用靠近电子束的光束照射样品；ii接收来自样品的反射光束，iii确定电子束的聚焦状态，以及iv参与电子束失焦的补偿。
本发明授权光学自动聚焦单元和用于自动聚焦的方法在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子评估系统，包含： 柱，所述柱包含开口； 照明单元，所述照明单元经配置为用穿过所述开口的电子束扫描样品的区域；以及 光学自动聚焦单元，所述光学自动聚焦单元经配置为：i在用所述电子束扫描所述区域期间，用靠近所述电子束的光束照射所述样品，ii接收来自从所述样品的反射光束，iii确定所述电子束的聚焦状态，以及iv参与电子束失焦的补偿； 其中所述光学自动聚焦单元包含反射镜和感测单元，所述反射镜定位在所述柱内，其中所述反射镜经配置为朝向所述样品偏转所述光束并且朝向所述感测单元偏转所述反射光束。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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