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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117506687B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311745929.2，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备是由王博亮设计研发完成，并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备，该装置包括：若干定位点，若干定位点间隔地围绕目标放置区的周向分布，以对晶圆载具的边缘定位，其中至少一个定位点为激光定位点；激光感应器，激光感应器设于抛光垫的上方，向激光定位点发射激光，并接收从激光定位点返回的反射激光信号；处理器，与激光感应器之间通信连接，用于将反射激光信号和预设激光信号进行比较，以判断晶圆载具是否处于目标位置上。本公开实施例提供的晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备，通过对晶圆载具进行精确定位，避免由于晶圆载具对高压清洗水柱的阻挡而产生清洁弱区，以改善产品釉化现象。

本发明授权一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具位置检测装置，用于抛光设备中，所述抛光设备包括抛光垫，所述抛光垫设有多个放置区，所述晶圆载具位置检测装置用于将所述晶圆载具放置在目标放置区内的目标位置上；其特征在于，所述晶圆载具位置检测装置包括： 若干定位点，若干所述定位点间隔地围绕所述目标放置区的周向分布，以对所述晶圆载具的边缘定位，其中至少一个所述定位点为激光定位点； 激光感应器，所述激光感应器设于所述抛光垫的上方，向所述激光定位点发射激光，并接收从所述激光定位点返回的反射激光信号；及 处理器，与所述激光感应器之间通信连接，用于将所述反射激光信号和预设激光信号进行比较，以判断所述晶圆载具是否处于所述目标位置上； 其中，所述激光定位点位于所述目标放置区的靠近另一所述放置区的一侧边缘上； 所述晶圆载具包括载具本体及设于所述载具本体周边的齿，相邻所述齿之间形成有齿隙，且所述齿隙暴露所述抛光垫的局部表面，所述载具本体、所述齿及所述抛光垫的表面反射率不同；其中，所述预设激光信号至少包括所述晶圆载具是否处于所述目标位置上，所述激光被所述齿隙、所述齿中的一者表面反射返回的光强值；所述处理器具体用于将所述反射激光信号的光强值与所述预设激光信号的光强值进行比较，以判断所述晶圆载具是否处于所述目标位置上。

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