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中科晶源微电子技术(北京)有限公司米涛获国家专利权

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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利传片装置及半导体检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116936426B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310868500.6,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权传片装置及半导体检测设备是由米涛设计研发完成,并于2023-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

传片装置及半导体检测设备在说明书摘要公布了:本申请属于搬运装置技术领域,尤其是涉及传片装置及半导体检测设备。该传片装置包括阀板管路、传动机构以及承载座;阀板管路包括阀板以及从阀板沿第一方向延伸的管路;承载座连接于阀板并在第一方向上位于阀板远离传动机构的一侧;传动机构连接于管路,且传动机构设置为能够驱动阀板管路沿第一方向运动,以调节阀板及承载座在第一方向上的位置。通过传动机构驱动阀板管路沿第一方向运动,以改变阀板在第一方向上的位置,从而让两腔室在隔断状态与连通状态之间切换。另外,用于放置硅片的承载座设置在阀板上,阀板在沿第一方向运动以切换两腔室之间状态的过程中,阀板上集成有承载座以同步搬运硅片。

本发明授权传片装置及半导体检测设备在权利要求书中公布了:1.一种传片装置,其特征在于,包括阀板管路、传动机构以及承载座; 所述阀板管路包括阀板以及从所述阀板沿第一方向延伸的管路; 所述承载座连接于所述阀板并在所述第一方向上位于所述阀板远离所述传动机构的一侧; 所述传动机构连接于所述管路并包括换向限位机构以及动力构件,且所述动力构件设置为能够驱动所述换向限位机构在第二方向上动作,以调节所述阀板管路在所述第一方向上的位置实现切换不同档位,进而调节所述阀板及所述承载座在所述第一方向上的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中科晶源微电子技术(北京)有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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