聚束科技(北京)有限公司张韩获国家专利权
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龙图腾网获悉聚束科技(北京)有限公司申请的专利一种图像采集方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116506723B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310484665.3，技术领域涉及：H04N23/63；该发明授权一种图像采集方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质是由张韩;李扬;张琛;谭宇琦;费雅茜设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种图像采集方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种图像采集方法，包括：获取感兴趣区域中第一参考位置处图像清晰时对应的物镜电流值和样品台的Z轴参数；在所述物镜电流值不变的情况下，基于所述样品台的Z轴参数确定若干个第二参考位置处图像清晰时对应的样品台的Z轴参数；基于不同参考位置处图像清晰时对应的样品台的Z轴参数确定样品在预设方向的高度差；基于所述高度差和扫描电子显微镜的景深确定图像采集过程中Z轴插值的桩点信息；基于所述桩点信息和所述物镜电流值进行所述感兴趣区域的图像采集。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。
本发明授权一种图像采集方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种图像采集方法，其特征在于，所述方法包括： 获取感兴趣区域中第一参考位置处图像清晰时对应的物镜电流值和样品台的Z轴参数； 在所述物镜电流值不变的情况下，基于所述样品台的Z轴参数确定若干个第二参考位置处图像清晰时对应的样品台的Z轴参数； 基于不同参考位置处图像清晰时对应的样品台的Z轴参数确定样品在预设方向的高度差； 基于所述高度差和扫描电子显微镜的景深确定图像采集过程中Z轴插值的桩点信息； 基于所述桩点信息和所述物镜电流值进行所述感兴趣区域的图像采集； 其中，所述基于所述高度差和扫描电子显微镜的景深确定图像采集过程中Z轴插值的桩点信息，包括： 基于样品在预设方向的高度差和所述扫描电子显微镜的景深确定在所述预设方向所述Z轴插值的桩点数； 基于不同预设方向所述Z轴插值的桩点数确定所述感兴趣区域图像采集过程中Z轴插值的总桩点数和每个桩点对应的Z轴参数。
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