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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313882B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211096522.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法是由蒋渊;廖世保;邓信甫;李盼盼;卢证凯设计研发完成，并于2022-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及到一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法，包括：第一步，晶圆盒连接摆荡机构放入干燥槽体内，晶圆盒装载晶圆片，干燥槽体与上盖圆顶合并保持密合度，微量气体抽空；第二步，自上盖圆顶注入常温氮气，在干燥槽体内注入超纯水进行晶圆的表面润湿；第三步，晶圆片表面浸润完成，进行如下操作：S1：利用专用的集成模组向干燥槽体内注入异丙醇和加热氮气混合物，同时将超纯水从干燥槽体底部控速排放；S2：超纯水排放过程中操作摆荡机构携带晶圆片形成行星式摆荡，使晶圆片上的水分子加快脱离；第四步，重复完成晶圆干燥。本发明通过行星式弧形摆荡干燥技术使晶圆表面的残余水分加速带离，通过有效控制液体张力实现晶圆快速干燥。

本发明授权一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法在权利要求书中公布了：1.一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法，其特征在于，该方法包括如下步骤： 第一步，在晶圆盒内装载多个晶圆片，将所述晶圆盒放置在摆荡机构上，将携带晶圆片的摆荡机构放入干燥槽体内；将干燥设备的上盖圆顶与干燥槽体合并,并保持合并后舱体的密合度，将舱体内的微量气体抽空； 第二步，在干燥槽体注入超纯水，同时通过上盖圆顶注入常温氮气，使干燥槽体中注入的超纯水液面超过晶圆的最上端，进行晶圆片的表面润湿，浸润期间持续向干燥槽体内注入常温氮气； 第三步，待超纯水对晶圆片表面浸润完成后，停止常温氮气的注入，进行如下操作： S1：利用集成模组从上盖圆顶向干燥槽体内注入异丙醇和加热氮气混合物，将干燥槽体内的超纯水从底部控速排放； S2:随着超纯水液面持续下降，超纯水排放过程中操作所述的摆荡机构携带晶圆片形成行星式摆荡,使每个晶圆片均产生弧形的周期性小角度运动，晶圆片在摆荡过程中，在超纯水液面与晶圆片表面接触位置处产生拉伸现象，超纯水液相的表面张力T1受拉伸增大，而异丙醇气相与超纯水液相形成的表面张力T2受拉伸减小，异丙醇液膜被张力与摆荡拉伸而变薄，超纯水的水膜受拉伸变薄，变薄的水膜内水分子更快地侧向移动，控制液体张力使得晶圆片上的水分子加快脱离； 第四步，操作摆荡机构带动晶圆盒持续进行摆荡，直至超纯水排放至液面低于晶圆盒底部，完成第一阶段的干燥，查看是否需要重复清洗与干燥，若需要则重复第二步至第三步，进行第二阶段及后续阶段干燥，直至完成晶圆片干燥； 在第三步中，集成模组结构上包括有异丙醇输入管路、循环超纯水输入管路、循环超纯水输出管路、加热氮气输入管路、混合罐体以及混合后气液共存液体输出管路，所述混合罐体结构上包括有外壳和混合罐，所述外壳为带有罐体门板的箱状结构，在所述外壳内设有至少一个混合罐； 所述外壳的前侧壁靠近底部位置设有异丙醇输入端口，该异丙醇输入端口连接所述的异丙醇输入管路，在所述外壳的一侧壁设有超纯水输入端口和超纯水输出端口，分别对应连接所述的循环超纯水输入管路和循环超纯水输出管路，在所述外壳的后侧壁上设有加热氮气输入端口，该加热氮气输入端口连接所述的加热氮气输入管路，在所述外壳的后侧壁上还设有混合后气液共存体输出端口，该混合后气液共存体输出端口连接混合后气液共存液体输出管路的一端，该混合后气液共存液体输出管路的另一端联通至上盖圆顶上，以将异丙醇和加热氮气混合物输送至所述干燥槽体内； 所述的混合罐外形呈圆柱体，混合罐内部为包括涡流混合道、缓冲回流槽和热水浴区域的三层结构，其中涡流混合道为混合罐中心设置的倒锥形空腔，所述混合罐的底部中心位置设有罐体入口，所述混合罐的顶部中心位置设有罐体出口，所述的罐体入口联通异丙醇输入端口以接收异丙醇输入至涡流混合道内，所述混合罐内的缓冲回流槽上方位置联通所述的加热氮气输入端口以接收加热氮气，所述混合罐内的热水浴区域联通所述的超纯水输入端口和超纯水输出端口以接收循环超纯水，所述的罐体出口联通所述的混合后气液共存体输出端口。

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