株式会社日立高新技术大内将记获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利图像处理方法、形状检查方法、图像处理系统以及形状检查系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115698690B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080101502.7,技术领域涉及:G01N23/2251;该发明授权图像处理方法、形状检查方法、图像处理系统以及形状检查系统是由大内将记;石川昌义;丰田康隆;新藤博之设计研发完成,并于2020-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像处理方法、形状检查方法、图像处理系统以及形状检查系统在说明书摘要公布了:本发明提供图像处理方法、形状检查方法、图像处理系统以及形状检查系统。图像处理方法使用具备输入接收部、推定部和输出部的系统获取对根据试样的基准数据得到的推定拍摄图像和试样的实际的拍摄图像进行比对时使用的推定拍摄图像的数据,包括:输入工序,输入接收部接收基准数据、试样的工序信息和学习完毕的模型数据的输入;推定工序,推定部使用基准数据、工序信息及模型数据计算表示拍摄图像的数据能够取的值的概率分布的拍摄图像统计量;输出工序,输出部输出拍摄图像统计量,推定拍摄图像能够根据拍摄图像统计量来生成。由此,在对根据设计数据推定的模拟图像和实际拍摄到的图像进行比对时,能够缩短该推定所需要的时间,实时地进行比对。
本发明授权图像处理方法、形状检查方法、图像处理系统以及形状检查系统在权利要求书中公布了:1.一种图像处理方法,使用具备输入接收部、推定部和输出部的系统,获取对根据被检查的试样的基准数据得到的推定拍摄图像和所述试样的实际的拍摄图像进行比对时使用的所述推定拍摄图像的数据,其中, 所述图像处理方法包括: 输入工序,所述输入接收部接收所述基准数据、工序信息和学习完毕的模型数据的输入,所述工序信息包括所述试样的制造条件或所述拍摄图像的拍摄条件中的至少一个; 推定工序,所述推定部使用所述基准数据、所述工序信息以及所述模型数据,作为表示所述拍摄图像的数据的各像素值的概率分布的概率密度函数,计算拍摄图像统计量;和 输出工序,所述输出部输出所述拍摄图像统计量, 所述推定拍摄图像能够根据所述拍摄图像统计量来生成, 所述工序信息与所述拍摄图像的特征量进行了结合。
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