浜松光子学株式会社坂本刚志获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利对象物加工方法及对象物加工系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115213684B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210325622.6,技术领域涉及:B23P23/00;该发明授权对象物加工方法及对象物加工系统是由坂本刚志设计研发完成,并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本对象物加工方法及对象物加工系统在说明书摘要公布了:本发明涉及对象物加工方法及对象物加工系统。对象物加工方法具备:研磨工序,研磨对象物的从表面到研磨预定位置的部分;激光加工工序,在研磨工序之前沿着线形成一列或多列改质区域。激光加工工序包括:数据获取工序,获取与激光入射面的位移相关的测定数据;聚光工序,基于测定数据使激光的聚光位置追随激光入射面的位移;监视工序,在基于测定数据使聚光位置追随激光入射面的位移的情况下,在聚光透镜的光轴方向上,监视由激光向该聚光位置的聚光形成的改质区域是否在研磨预定位置侧超过在最靠研磨预定位置侧的改质区域的形成预定位置和研磨预定位置之间确定的错误检知位置。
本发明授权对象物加工方法及对象物加工系统在权利要求书中公布了:1.一种对象物加工方法,其中, 具备: 研磨工序,研磨对象物的从表面到研磨预定位置的部分; 激光加工工序,在所述研磨工序之前,沿着线经由聚光透镜向所述对象物照射激光,在所述对象物的内部的所述表面和所述研磨预定位置之间,沿着所述线形成一列或多列改质区域, 所述激光加工工序包括: 数据获取工序,获取与所述对象物的激光入射面的位移相关的测定数据; 聚光工序,一边使所述激光的聚光位置沿着所述线移动,一边基于所述测定数据使所述聚光位置追随所述激光入射面的位移; 监视工序,在基于所述测定数据使所述聚光位置追随所述激光入射面的位移的情况下,在所述聚光透镜的光轴方向上,监视由所述激光向该聚光位置的聚光形成的所述改质区域是否在所述研磨预定位置侧超过在最靠所述研磨预定位置侧的所述改质区域的形成预定位置和所述研磨预定位置之间确定的错误检知位置。
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