天津中科晶禾电子科技有限责任公司梁申武获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利一种晶圆翻转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520859588.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆翻转装置是由梁申武;高智伟;母凤文;郭超;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻转装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体材料加工设备技术领域，公开一种晶圆翻转装置。晶圆翻转装置包括真空腔室、夹持翻转机构和检测机构，真空腔室的腔壁设有至少两个真空视窗；夹持翻转机构穿设固定于真空腔室，夹持翻转机构的输出端位于真空腔室内，用于夹持和翻转晶圆，夹持翻转机构具有至少两个夹持位，用于对应夹持至少两种尺寸的晶圆；检测机构包括至少两个传感件，至少两个传感件均位于真空腔室外，至少两个传感件与至少两个夹持位一一对应设置，且与至少两个真空视窗一一对应设置，传感件的检测光能透过对应的真空视窗射入真空腔室内，并能射至对应的夹持位。本实用新型可应用于真空环境，且能避免因晶圆尺寸识别错误引起的后续工序错乱。
本实用新型一种晶圆翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括： 真空腔室1，所述真空腔室1的腔壁设有至少两个真空视窗11； 夹持翻转机构2，穿设固定于所述真空腔室1，所述夹持翻转机构2的输出端位于所述真空腔室1内，用于夹持和翻转晶圆100，所述夹持翻转机构2具有至少两个夹持位，用于对应夹持至少两种尺寸的所述晶圆100； 检测机构，包括至少两个传感件，至少两个所述传感件均位于所述真空腔室1外，至少两个所述传感件与至少两个所述夹持位一一对应设置，且与至少两个所述真空视窗11一一对应设置，所述传感件的检测光能透过对应的所述真空视窗11射入所述真空腔室1内，并能射至对应的所述夹持位，用于检测所述夹持翻转机构2是否位于对应的所述夹持位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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