黑曼巴半导体(无锡)有限公司余江获国家专利权
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龙图腾网获悉黑曼巴半导体(无锡)有限公司申请的专利一种便于清洁液稳定供给的圆晶清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224181529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520619342.5,技术领域涉及:B08B3/10;该实用新型一种便于清洁液稳定供给的圆晶清洗设备是由余江;钱佳设计研发完成,并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于清洁液稳定供给的圆晶清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及圆晶清洗技术领域,尤其为一种便于清洁液稳定供给的圆晶清洗设备,包括承载板,承载板的顶部分别设置有供给组件和导向组件,导向组件位于供给组件的侧面,通过设置供液桶、搅拌电机、搅拌架、过滤网、加热板和温度传感器的配合使用,为了确保清洗液在供液桶内均匀混合,防止沉淀或分层现象,我们采取了搅拌措施,从而保障了清洗液的稳定性和一致性,通过设置过滤网,配合加热板和温度传感器的使用,可以精确控制清洗液的温度,进一步提升清洗效果,通过设置烘干风机、吹风头、抽液泵、抽液管、移动块和螺纹杆的配合使用,为了确保清洗后的晶圆能够被及时且均匀地烘干,避免晶圆表面残留水分引发的二次污染或氧化。
本实用新型一种便于清洁液稳定供给的圆晶清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种便于清洁液稳定供给的圆晶清洗设备,包括承载板1,其特征在于:所述承载板1的顶部分别设置有供给组件2和导向组件3,所述导向组件3位于供给组件2的侧面; 所述供给组件2包括承载板1顶部的安装板7,所述安装板7的顶部固定连接有供给桶201,所述供给桶201的顶部设置有密封盖202,所述密封盖202的顶部安装有搅拌电机203,所述搅拌电机203的输出端固定连接有搅拌架205,所述搅拌架205贯穿密封盖202并延伸至供给桶201内,所述搅拌架205与密封盖202转动连接,所述供给桶201的内表壁开设有凹槽,所述凹槽内固定连接有加热板209,所述供给桶201的内表壁固定连接有温度传感器208,所述供给桶201的顶部开设有密封槽204,所述供给桶201内固定连接有过滤网206,所述搅拌架205贯穿过滤网206并与转动连接,所述承载板1的顶部固定连接有清洗盒4,所述清洗盒4的侧面固定连接有排水管5。
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