无锡奥多尔自动化有限公司王金余获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥多尔自动化有限公司申请的专利一种石英舟清洗用支撑结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224181511U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521025025.7,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种石英舟清洗用支撑结构是由王金余;杨桦设计研发完成,并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英舟清洗用支撑结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域,尤其涉及一种石英舟清洗用支撑结构。本实用新型提供一种石英舟清洗用支撑结构,其能通过设置安装板组件、提杆、矩形框、支撑组件、限位组件和驱动组件的方式,使得:限位组件通过对支撑组件的旋转角度进行有选择地锁定,从而切换支撑组件的斗形状态或拱形状态,使得支撑组件可以满足圆管石英工件或半圆管石英工件这两种不同类型的石英工件的支撑需求,不仅保留了圆管石英工件的卧式清洗优势,同时通过切换支撑组件的拱形状态、以满足半圆管石英工件的卧式清洗需求,且采用倒扣方式浸泡清洗半圆管石英工件,半圆管石英工件的沥水难度低,也降低了清洗死角和污垢堆积的可能,便于自动化操作,提高效率。
本实用新型一种石英舟清洗用支撑结构在权利要求书中公布了:1.一种石英舟清洗用支撑结构,其特征在于,包括安装板组件1,插接设置在所述安装板组件1上、并向清洗槽a伸入的提杆2,设置在所述提杆2下端、并用于容纳石英工件b的矩形框3,转动设置在所述矩形框3上、且间隔设置、并用于承托所述石英工件b底部的若干个支撑组件4,设置在所述矩形框3上、并用于锁定所述支撑组件4旋转角度的限位组件5,以及设置在所述安装板组件1上、并用于带动所述提杆2升降的驱动组件6;所述限位组件5使得所述支撑组件4实现斗形拱形的切换、以分别适用于圆管石英工件b1和半圆管石英工件b2。
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