云南安和新材料有限公司张林华获国家专利权
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龙图腾网获悉云南安和新材料有限公司申请的专利一种三氯氢硅尾气分离并联产气相二氧化硅装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224180572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520833702.1，技术领域涉及：B01D53/00；该实用新型一种三氯氢硅尾气分离并联产气相二氧化硅装置是由张林华;严加高设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三氯氢硅尾气分离并联产气相二氧化硅装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及化学气体回收技术领域，提出了一种三氯氢硅尾气分离并联产气相二氧化硅装置，本设计采取组合工艺处理三氯氢硅尾气，并且配备设有低温冷量回收机构的精馏分离座，通过精馏分离组件将尾气中氢气、氯化氢、氯硅烷逐级分离，和氯硅烷直接输送至燃烧组件，氯化氢纯度回用至三氯氢硅尾气处理组件，实现“分离即回用，进而达到进一步节约了能耗，提高了纯度的目的；并且采用适用于低沸点氯硅烷的气相二氧化硅燃烧炉，以此来对氯硅烷与氢气混合燃烧，生成气相二氧化硅和氯化氢，气相二氧化硅可直接通过气相二氧化硅排出管排出，而产生的氯化氢则通过第二氯化氢回管回收至三氯氢硅尾气处理座内并实现闭环利用。
本实用新型一种三氯氢硅尾气分离并联产气相二氧化硅装置在权利要求书中公布了：1.一种三氯氢硅尾气分离并联产气相二氧化硅装置，包括精馏分离组件2，其特征在于，所述精馏分离组件2一侧设置有可送入三氯氢硅尾气的三氯氢硅尾气处理组件1，所述精馏分离组件2另一侧设置有能够接收低温精馏后产生的氯硅烷以及氢气的燃烧组件3，所述燃烧组件3包括燃烧炉体31，所述燃烧炉体31内部开设有炉腔311，所述燃烧组件3还包括能够将燃烧后产生氯化氢重新送入三氯氢硅尾气处理组件1内的第二氯化氢回管34，所述第二氯化氢回管34固定连接在燃烧炉体31顶部。
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