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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种铝孔沉积自适应控制方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121629391B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610156932.8，技术领域涉及：C23C26/00；该发明授权一种铝孔沉积自适应控制方法、系统、设备及介质是由王开兵;瓮晴晴设计研发完成，并于2026-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种铝孔沉积自适应控制方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种铝孔沉积自适应控制方法、系统、设备及介质，方法包括：在铝孔沉积过程中，通过沉积设备的原位监测通道按照采样周期实时获取沉积状态信息；在每一分析窗口内基于连续采样周期的沉积状态信息按时间顺序构建沉积状态信息序列，基于沉积状态信息序列提取特征参数，依据特征参数对沉积过程进行沉积阶段判定，得到沉积阶段判定结果，并构建沉积过程特征集合；根据沉积阶段的判定结果，调用对应的目标特征参考值集合，将目标特征参考值集合中的参考特征值与沉积过程特征集合中的对应特征参数进行比较以获取特征偏离量，基于多个特征偏离量计算加权综合偏离量，根据加权综合偏离量确定沉积控制参数的设定值调整量，并更新沉积控制参数。

本发明授权一种铝孔沉积自适应控制方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种铝孔沉积自适应控制方法，其特征在于，包括： 沉积状态信息获取，在铝孔沉积过程中，通过沉积设备的原位监测通道按照采样周期实时获取用于反映沉积过程动态变化的沉积状态信息，所述沉积状态信息包括温度数据、功率数据、电流数据、电压数据、沉积速率数据、反射信号数据及光强监测信号数据； 沉积状态分析，在每一分析窗口内基于连续采样周期的沉积状态信息按时间顺序构建沉积状态信息序列，基于所述沉积状态信息序列提取能够表征沉积过程动态变化的特征参数，依据所述特征参数对沉积过程进行沉积阶段判定，得到沉积阶段判定结果，并构建沉积过程特征集合； 沉积控制参数自适应调整，根据所述沉积阶段的判定结果，调用对应的目标特征参考值集合，将所述目标特征参考值集合中的参考特征值与沉积过程特征集合中的对应特征参数进行比较以获取特征偏离量，基于多个特征偏离量计算加权综合偏离量，根据所述加权综合偏离量确定沉积控制参数的设定值调整量，并更新沉积控制参数； 所述沉积状态分析，包括： 沉积状态信息序列构建，基于当前分析窗口内多个采样周期采集的沉积状态信息，形成沉积状态信息序列，所述沉积状态信息序列包括温度序列、沉积速率序列、电流序列、功率序列、反射信号序列及光强监测信号序列； 趋势特征提取，基于所述温度序列、沉积速率序列及电流序列提取趋势特征，形成趋势特征集合，所述趋势特征集合包括温度趋势幅度、沉积速率趋势幅度、电流趋势幅度及沉积速率趋势强度； 波动特征提取，基于所述功率序列及电流序列，计算功率标准差及电流标准差，并形成波动特征集合； 比值特征提取，基于所述功率序列、沉积速率序列、电流序列及电压序列，计算功率沉积速率比及电流电压变化比，形成比值特征集合； 界面变化特征提取，基于反射信号序列及光强监测信号序列，用于表征沉积界面覆盖变化的界面变化特征，形成界面变化特征集合； 沉积阶段判定，基于所述趋势特征集合、波动特征集合、比值特征集合及界面变化特征集合，对当前分析窗口内的沉积阶段进行判定，得到所述沉积阶段判定结果，并基于所述趋势特征集合、波动特征集合、比值特征集合、界面变化特征集合及沉积阶段构建沉积过程特征集合； 所述沉积控制参数自适应调整，包括： 根据所述沉积阶段判定结果，从预设的沉积阶段特征参考库中调取与其相对应的目标特征参考值集合，并将该所述目标特征参考值集合中的每一参考特征值与当前分析窗口的沉积过程特征集合中对应的特征参数进行比较，得到相应的特征偏离量； 基于多个所述特征偏离量计算得到加权综合偏离量，根据所述加权综合偏离量及当前沉积阶段对应的控制响应系数，计算沉积控制参数的设定值调整量； 根据所述沉积控制参数的设定值调整量更新沉积控制参数，并使更新后的沉积控制参数在下一采样周期生效。

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