吉林麦吉柯半导体有限公司刘斌获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林麦吉柯半导体有限公司申请的专利晶圆装载设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178585U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521111027.8，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆装载设备是由刘斌;任伟彬;金太龙;回宇航;滕雨;冯本瑞;崔晋设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆装载设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆装载设备，包括悬臂桨和位于所述悬臂桨表面的保护层；所述悬臂桨包括用于放置晶圆筐的圆弧形凹槽，多个晶圆被放置在晶圆筐内；所述晶圆筐放置于所述凹槽中时，所述晶圆筐靠近所述悬臂桨的外表面与所述凹槽至少部分贴合；所述保护层的外径与所述凹槽的内径相同，所述保护层用于覆盖所述凹槽；所述保护层与所述悬臂桨可拆卸连接。通过在悬臂桨表面设置保护层，以解决碳化硅悬臂桨在高温、腐蚀及机械冲击环境下的快速损耗问题，延长了悬臂桨的使用寿命，同时提升了晶圆装载设备作业时的稳定性。
本实用新型晶圆装载设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载设备，其特征在于，包括悬臂桨和位于所述悬臂桨表面的保护层； 所述悬臂桨包括用于放置晶圆筐的圆弧形凹槽，多个晶圆被放置在晶圆筐内；所述晶圆筐放置于所述凹槽中时，所述晶圆筐靠近所述悬臂桨的外表面与所述凹槽至少部分贴合； 所述保护层的外径与所述凹槽的内径相同，所述保护层用于覆盖所述凹槽； 所述保护层与所述悬臂桨可拆卸连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉林麦吉柯半导体有限公司，其通讯地址为：132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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