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上海果纳半导体技术有限公司姜福君获国家专利权

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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利晶圆盒夹持装置及包含它的天车获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224178582U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520518650.9,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型晶圆盒夹持装置及包含它的天车是由姜福君;周道;张庆;叶莹设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆盒夹持装置及包含它的天车在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆盒夹持装置及包含它的天车。本实用新型的晶圆盒夹持装置,包括:柔性传动件、夹持机构和传动锁止件,柔性传动件具有第一端部和第二端部,柔性传动件将扭矩从其第一端部传递至第二端部时,其第一端部和第二端部可相对径向移动;夹持机构包括座板、连杆和夹持组件,座板与连杆的第一端转动连接,连杆的第二端与夹持组件连接,连杆可在缩回位置和伸展位置之间转动,在伸展位置夹持组件与晶圆盒抵接;传动锁止件具有输入端和输出端,输入端与柔性传动件的第二端部连接,输出端与连杆的第一端连接,传动锁止件具有传动状态和锁止状态。本实用新型的晶圆盒夹持装置能够隔离电机的扰动并稳定地对晶圆盒夹持。

本实用新型晶圆盒夹持装置及包含它的天车在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒夹持装置,其特征在于,包括: 柔性传动件,所述柔性传动件具有第一端部和第二端部,所述柔性传动件将扭矩从其第一端部传递至第二端部时,其第一端部和第二端部可相对径向移动; 夹持机构,所述夹持机构包括座板、连杆和夹持组件,所述座板与所述连杆的第一端转动连接,所述连杆的第二端与所述夹持组件连接,所述连杆可在缩回位置和伸展位置之间转动,在所述伸展位置所述夹持组件与晶圆盒抵接; 传动锁止件,所述传动锁止件具有输入端和输出端,所述输入端与所述柔性传动件的第二端部连接,所述输出端与所述连杆的第一端连接,所述传动锁止件具有传动状态和锁止状态,在所述传动状态,所述传动锁止件传动所述柔性传动件的扭矩至所述连杆的第一端以切换所述缩回位置和所述伸展位置,在所述锁止状态,所述传动锁止件断开所述连杆的扭矩传至所述柔性传动件以锁定所述缩回位置或所述伸展位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海果纳半导体技术有限公司,其通讯地址为:200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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