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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178577U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520808759.6，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备是由朱高伟;王于岳;张丛;田龙;卓祖亮;孙志坤;樊文凤;项鹏设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备，该偏心补偿系统包括：机械手本体、机械手手指、目标传感器、第一工位、第二工位、标定晶圆、目标晶圆和机械手控制器；目标传感器用于投射目标光束；机械手控制器用于记录机械手手指搬运标定晶圆和目标晶圆时触发目标传感器两次状态改变时的第一位置极坐标、第二位置极坐标、第三位置极坐标和第四位置极坐标；基于第二工位的工位极坐标、晶圆直径、第一位置极坐标、第二位置极坐标、第三位置极坐标和第四位置极坐标，确定目标极坐标；基于目标极坐标，控制机械手手指搬运目标晶圆移动至第二工位。该系统能够在晶圆传输过程中进行偏心补偿，提高晶圆传输效率。

本实用新型晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输的偏心补偿系统，其特征在于，所述偏心补偿系统包括：机械手本体、机械手手指、目标传感器、第一工位、第二工位、标定晶圆、目标晶圆和机械手控制器，所述目标传感器位于所述机械手本体与所述第一工位之间，所述目标传感器与所述机械手控制器电性相连，所述机械手控制器与所述机械手手指电性相连，所述标定晶圆和所述目标晶圆的晶圆直径相同； 以所述机械手本体的本体中心为坐标原点构建极坐标系； 所述目标传感器用于投射目标光束，所述目标光束与所述标定晶圆或所述目标晶圆的晶圆表面不平行； 所述机械手控制器用于预先记录有所述机械手手指搬运所述标定晶圆由所述第一工位向所述机械手本体移动过程中触发所述目标传感器两次状态改变时所述机械手手指的手指中心的第一位置极坐标和第二位置极坐标，所述标定晶圆的标定圆心与所述手指中心重合； 所述机械手手指用于将所述目标晶圆由所述第一工位搬运至所述第二工位； 在所述机械手手指将所述目标晶圆由所述第一工位向所述机械手本体移动的过程中，所述机械手控制器还用于记录所述目标传感器两次状态改变时所述机械手手指的手指中心的第三位置极坐标和第四位置极坐标； 所述机械手控制器还用于基于所述第二工位的工位极坐标、所述晶圆直径、所述第一位置极坐标、所述第二位置极坐标、所述第三位置极坐标以及所述第四位置极坐标，确定更新后的所述机械手手指对应所述手指中心移动的目标极坐标； 所述机械手控制器还用于基于所述目标极坐标，控制所述机械手手指搬运所述目标晶圆由所述机械手本体移动至所述第二工位。

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