北京燕东微电子科技有限公司孙康获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利刻蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224177312U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521167637.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型刻蚀装置是由孙康;王金福设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体提供一种刻蚀装置，旨在解决现有刻蚀设备因上电极的温控能力不足导致的产能受限与工艺稳定性差的问题。为此，本申请提供的刻蚀装置，包括：真空腔室，其内具有相对的第一电极和第二电极，第一电极部分裸露于真空腔室外，第一电极背离真空腔室的部分设置有射频发生器；罩体，其包围于第一电极的外侧，以使第一电极和射频发生器位于罩体形成的封闭空间内；其中，罩体具有与封闭空间连通的进气口和排气口，通过进气口和排气口向封闭空间内循环输送气体，以与射频发生器和第一电极进行热交换。本申请的刻蚀装置通过向罩体内循环输送温度可调的气体，实现对第一电极温度的快速调节与精准稳定的控制。
本实用新型刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀装置，其特征在于，包括： 真空腔室1，其用于容置待刻蚀件，所述真空腔室1内具有相对的第一电极11和第二电极12，所述第一电极11的一部分位于所述真空腔室1内，所述第一电极11背离所述真空腔室1的部分设置有射频发生器23； 罩体2，其包围于所述第一电极11的外侧，以使所述第一电极11的另一部分和所述射频发生器23位于所述罩体2形成的封闭空间内； 其中，所述罩体2具有进气口和排气口，通过所述进气口向所述封闭空间内输送气体，以与所述射频发生器23和所述第一电极11进行热交换，经热交换后的气体从所述排气口排出。
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