荣芯半导体(宁波)有限公司代勇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种刻蚀设备的介质窗口升温机构及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224177310U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521047047.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种刻蚀设备的介质窗口升温机构及刻蚀设备是由代勇;戴一然;张刚;王邵文设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀设备的介质窗口升温机构及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种刻蚀设备的介质窗口升温机构及刻蚀设备，包括机壳和设置在机壳内的介质窗口，所述机壳上设置有至少一个加热组件，所述加热组件包括与压缩气源连接的气流放大器，所述气流放大器的吸气端与机壳内腔连通，所述气流放大器的排气端通过管道与加热管的进气端连接，所述加热管的出气端与机壳内腔连通。本实用新型能够辅助介质窗口进行升温，减少因升温所产生的无效待机时间，减少机台运行时间损失，提高刻蚀效率。
本实用新型一种刻蚀设备的介质窗口升温机构及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备的介质窗口升温机构，包括机壳1和设置在机壳1内的介质窗口2，其特征在于：所述机壳1上设置有至少一个加热组件，所述加热组件包括与压缩气源连接的气流放大器3，所述气流放大器3的吸气端与机壳1内腔连通，所述气流放大器3的排气端通过管道4与加热管5的进气端连接，所述加热管5的出气端与机壳1内腔连通，所述管道4外壁套设有冷却套管8，冷却套管8的管壁内沿其轴向螺旋延伸形成有冷却流道9，所述冷却流道9的进口端和出口端分别通过冷却连接管10与冷却循环系统相连通，且至少一个冷却连接管10上设有用于调节冷却介质流量的控制阀，所述加热组件设有防护壳体11，该防护壳体11包覆气流放大器3和加热管5，所述防护壳体11表面设有阵列式通风孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励