安徽晶微科技有限公司刘颖获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽晶微科技有限公司申请的专利一种半导体制造设备和束流均匀稳定的离子源装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224177309U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521141438.1，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型一种半导体制造设备和束流均匀稳定的离子源装置是由刘颖设计研发完成，并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体制造设备和束流均匀稳定的离子源装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体制造设备和束流均匀稳定的离子源装置，该装置包括气体提供机构和离子源生成机构；气体提供机构用于向离子源生成机构提供均匀分布的惰性气体，气体提供机构包括多根贯通连接的管道，离子源生成机构包括中和金属件和电子生成组件，电子生成组件包括正极金属板、负极金属板以及由正极金属板和负极金属板围成的电子活动腔体，每根管道穿过正极金属板裸露在电子活动腔体中，负极金属板上开设有数个间隙。该装置通过气体提供机构提供均匀分布的惰性气体与电子生成组件产生的电子发生碰撞产生束流均匀的惰性气体正离子，惰性气体带动束流均匀的惰性气体正离子向上运动通过间隙运动至中和金属件位置处，得到束流均匀稳定的离子源。
本实用新型一种半导体制造设备和束流均匀稳定的离子源装置在权利要求书中公布了：1.一种束流均匀稳定的离子源装置，其特征在于，包括气体提供机构和与所述气体提供机构连接的离子源生成机构； 所述气体提供机构，用于向所述离子源生成机构的电子活动腔体提供均匀分布的惰性气体，所述气体提供机构包括用于提供惰性气体多根贯通连接的管道， 所述离子源生成机构，包括中和金属件和位于所述中和金属件下方的电子生成组件，所述电子生成组件包括正极金属板、负极金属板以及由所述正极金属板和所述负极金属板围成的电子活动腔体，每条所述管道穿过所述正极金属板裸露在所述电子活动腔体中，所述负极金属板上开设有数个间隙。
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