中科晶源微电子技术(北京)有限公司孙伟强获国家专利权
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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利电子探测装置和电子束成像设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224177308U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521049794.0,技术领域涉及:H01J37/05;该实用新型电子探测装置和电子束成像设备是由孙伟强;倪冬冬;陈喜亚;席阳;陈捷设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子探测装置和电子束成像设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种电子探测装置和电子束成像设备。电子探测装置包括支撑机构和多个探测单元。探测单元用于接收和处理电子信号,电子信号由电子束照射待测样品产生,多个探测单元沿垂直于电子信号的传播方向间隔设置,相邻探测单元之间形成间隙,间隙用于供电子信号直接通过。支撑机构用于支撑多个探测单元,支撑机构被配置为可活动设置,并将其中一个探测单元或其中一个间隙置于电子信号的传播路径中。本申请能够快速便捷地更换探测单元,有利于延长电子探测装置的维修周期,提高其耐用性,还可快速地实现成像效果的改变,满足不同的成像需求,有利于扩大使用范围。
本实用新型电子探测装置和电子束成像设备在权利要求书中公布了:1.一种电子探测装置,其特征在于,包括: 多个探测单元,所述探测单元用于接收和处理电子信号,所述电子信号由电子束照射待测样品产生,所述多个探测单元沿垂直于所述电子信号的传播方向间隔设置,相邻所述探测单元之间形成间隙,所述间隙用于供所述电子信号直接通过;以及 支撑机构,用于支撑所述多个探测单元,所述支撑机构被配置为可活动设置,并将其中一个所述探测单元或其中一个所述间隙置于所述电子信号的传播路径中。
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