南京宏泰晶智能装备科技有限公司姚恒获国家专利权
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龙图腾网获悉南京宏泰晶智能装备科技有限公司申请的专利碳化硅单晶生长炉的真空机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224172925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521118013.9,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型碳化硅单晶生长炉的真空机构是由姚恒;于永澔;李光设计研发完成,并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅单晶生长炉的真空机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及碳化硅单晶生长炉的真空机构,包括矩形底板,所述矩形底板的顶部固定连接有生长炉本体,所述矩形底板的顶部设置。该碳化硅单晶生长炉的真空机构,通过设置真空隔断机构,在更换真空机的时候,生长炉内的环境仍可以处于真空的状态,解决了在真空机毁坏,需要进行更换时,通常需要停止整个机构,无法保证生长炉内的晶体处于真空的状态,而更换真空机的时间通常较长,这样会导致在更换真空机的期间,生长炉内会灌入其他的气体,影响到晶体的生长,会增加晶体的不合格概率,降低产线的生产质量,并且,生长炉内的环境无法保证处于真空的状态,也会增加晶体生长的时间,降低生产的效率等问题。
本实用新型碳化硅单晶生长炉的真空机构在权利要求书中公布了:1.碳化硅单晶生长炉的真空机构,包括矩形底板1,其特征在于:所述矩形底板1的顶部固定连接有生长炉本体2,所述矩形底板1的顶部设置有真空机3,所述真空机3的侧边连通设置有方形管道一4,所述生长炉本体2的侧边连通设置有方形管道二5,所述方形管道二5与所述方形管道一4相连通,所述方形管道二5的内壁上固定连接有遮挡板6,所述遮挡板6的表面开设有通气口7; 所述方形管道二5通过所述通气口7设置有真空隔断机构,所述真空隔断机构包括导轨一8、覆盖板9、连接板一10、挡板一11、挡板二12、滑杆13、定位板14和弹簧15; 所述方形管道二5的侧边固定连接有固定板16,所述方形管道二5通过所述固定板16设置有拆卸组件。
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