安徽长飞先进半导体股份有限公司贺洪波获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽长飞先进半导体股份有限公司申请的专利分气机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224172919U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521087256.0,技术领域涉及:C30B25/14;该实用新型分气机构是由贺洪波;刘小平;伍搏设计研发完成,并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本分气机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及外延炉技术领域,具体公开了一种分气机构,该分气机构包括至少两个筛网组件和N个分隔组件。其中,每个筛网组件均包括筛网本体,筛网本体具有若干个网孔;每个分隔组件均包括分隔板,分隔板布置于两个相邻的筛网本体之间,沿筛网本体的长度方向,两个分隔板将两个筛网本体之间的区域分隔为N+1个相互独立的混合区域;其中,当N≥2时,若干个分隔板间隔布置于两个相邻的筛网本体之间。上述设置使得不同区域的混合气体在进入石英方管的不同通道前,不会出现再次混合,并最终进入反应腔的各个区域,有助于晶圆的正常生长。
本实用新型分气机构在权利要求书中公布了:1.分气机构,用于外延炉进气口的分气,其特征在于,包括: 至少两个筛网组件100,每个所述筛网组件100均包括筛网本体110,所述筛网本体110具有若干个网孔; N个分隔组件200,每个所述分隔组件200均包括分隔板210,所述分隔板210布置于两个相邻的筛网本体110之间,沿筛网本体110的长度方向,两个所述分隔板210将两个所述筛网本体110之间的区域分隔为N+1个相互独立的混合区域;其中,当N≥2时,若干个所述分隔板210间隔布置于两个相邻的筛网本体110之间。
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