拓荆科技(上海)有限公司姜彬获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种加热台升降装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172860U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520964506.8，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种加热台升降装置及半导体设备是由姜彬;杨华龙;朱晓亮;魏有雯设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热台升降装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种加热台升降装置及半导体设备，该装置用于驱动加热台升降，加热台固定安装于升降底座上，装置包括：驱动机构，用于驱动升降底座上下运动；导轨机构，包括竖向对称设置于升降底座两侧的导轨单元；同轴度调整机构，与升降底座连接，包括X轴调节组件和Y轴调节组件，X轴调节组件用于在X轴方向对升降底座进行调节，Y轴调节组件用于在Y轴方向对升降底座进行调节。本实用新型通过对称分布的导轨单元可避免由于大气及真空状态差异导致的驱动机构变形，避免加热台偏斜，还通过同轴度调整机构对升降底座的X轴方向和Y轴方向分别进行，避免坐标系合成的问题，由此达到增强加热台升降控制的效果，进而提高薄膜工艺设备的加工性能。
本实用新型一种加热台升降装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种加热台升降装置，用于驱动加热台升降，所述加热台固定安装于升降底座上，其特征在于，所述装置包括： 驱动机构，与所述升降底座连接，用于驱动所述升降底座上下运动； 导轨机构，包括竖向对称设置于所述升降底座两侧的导轨单元，所述升降底座可在所述导轨单元上下滑动； 同轴度调整机构，与所述升降底座连接，所述同轴度调整机构包括X轴调节组件和Y轴调节组件，其中，所述X轴调节组件用于在X轴方向对所述升降底座进行调节，所述Y轴调节组件用于在Y轴方向对所述升降底座进行调节。
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