拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司黄明策获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种可提高传片可靠性的机构及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172857U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521012203.2，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种可提高传片可靠性的机构及其薄膜沉积设备是由黄明策;孟亮;崔雨设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可提高传片可靠性的机构及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可提高传片可靠性的机构，其包括：加热盘、支撑板、升降顶针以及重锤帽；支撑板设置于加热盘的下方，且可受控与加热盘靠近或远离移动，加热盘上设有若干通孔；升降顶针的下端设有重锤，升降顶针的顶端穿设于通孔，重锤嵌设于重锤帽内；重锤帽内设有容腔，重锤帽连接于支撑板，重锤位于容腔内，且重锤帽在下降过程中重锤不脱离所述容腔。本实用新型的可提高传片可靠性的机构及其薄膜沉积设备，其通过在升降顶针的重锤外增设重锤帽，同时解除升降顶针与加热盘之间的行程限制，当加热盘上的通孔因薄膜沉积造成堵塞，升降顶针无法自然下落时，重锤帽对升降顶针施加拉力，使其顺利下落，从而避免对晶圆的损坏。
本实用新型一种可提高传片可靠性的机构及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种可提高传片可靠性的机构，其特征在于，包括：加热盘、支撑板、升降顶针以及重锤帽； 所述支撑板设置于所述加热盘的下方，且可受控与所述加热盘靠近或远离移动，所述加热盘上设有若干通孔； 所述升降顶针的下端设有重锤，所述升降顶针的顶端穿设于所述通孔，所述重锤嵌设于所述重锤帽内； 所述重锤帽内设有容腔，所述重锤帽连接于所述支撑板，所述重锤位于所述容腔内，且所述重锤帽在下降过程中所述重锤不脱离所述容腔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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