蓝河科技(绍兴)有限公司徐春阳获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利基座和气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172856U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520992883.2，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型基座和气相沉积装置是由徐春阳;张志明;邢志刚;巩前程;张伟设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座和气相沉积装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基座和气相沉积装置。基座包括承载面、收容腔体、驱动气体输送管路、导气流道、集气槽和排气管道，收容腔体设于承载面，顶面开口以放置基板承载件或基板；导气流道设有至少一个且设置于收容腔体的腔体内底面，导气流道包括与驱动气体输送管路相通的近端部，使驱动气体沿导气流道朝向导气流道的末端部流动；集气槽设有至少一个并与导气流道一一对应设置，集气槽围绕导气流道的末端部设置，集气槽内设有至少一个第一排气口；排气管道设于基座，与各第一排气口相通以将进入排气管道的驱动气体朝向基座的底部方向排出。本申请通过实现驱动气体朝向基座底部的排气，避免或减轻因驱动气体外逸对基板上方的工艺气体流场造成的不利影响。
本实用新型基座和气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种基座，其特征在于，包括承载面以及收容腔体，所述收容腔体设于所述承载面，顶面开口以放置基板承载件或基板； 还包括： 设于所述基座内，用于传输驱动气体的驱动气体输送管路； 导气流道，设有至少一个且设置于所述收容腔体的腔体内底面，所述导气流道包括与所述驱动气体输送管路相通的近端部，使所述驱动气体沿所述导气流道朝向所述导气流道的末端部流动； 集气槽，设有至少一个并与所述导气流道一一对应设置，所述集气槽围绕所述导气流道的末端部设置，所述集气槽内设有至少一个第一排气口； 排气管道，设于所述基座，与各所述第一排气口相通，以将进入所述排气管道的驱动气体朝向所述基座的底部方向排出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人蓝河科技(绍兴)有限公司，其通讯地址为：311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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