理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司路力获国家专利权
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龙图腾网获悉理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司申请的专利一种进气控制装置及板式镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172854U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520905209.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种进气控制装置及板式镀膜设备是由路力;奚明;王雪楠;魏青竹设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气控制装置及板式镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及板式镀膜设备领域，提供一种进气控制装置及板式镀膜设备，包括分气管、进气组件以及喷淋管，分气管轴向间隔设有若干分气孔；进气组件包括若干进气管、密封组件以及控制阀，进气管一端适于通过控制阀连接分气孔，另一端适于通过密封组件贯穿进入真空腔体的腔盖，密封组件通过调整第二连接法兰与第一连接法兰的相对位置，能够控制进气管和喷淋管的上下移动。本申请的每个进气管均设有可单独控制的控制阀，通过调节这些控制阀的开合，可精准控制每个喷淋管的喷淋量，进而调控不同位置的反应气体密度；通过手动或电动调节第二连接法兰与第一连接法兰的相对位置，可驱动第一伸缩管的轴向伸缩，从而实现进气管和喷淋管的竖直方向精准位移。
本实用新型一种进气控制装置及板式镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种进气控制装置，其特征在于，包括： 分气管，所述分气管内适于进入反应气体，所述分气管轴向间隔设有若干分气孔； 进气组件，所述进气组件包括若干进气管、密封组件以及控制阀，所述进气管一端适于通过所述控制阀连接所述分气孔，另一端适于通过所述密封组件贯穿进入真空腔体的腔盖； 喷淋管，所述喷淋管设置于所述进气管进入真空腔体的一端； 所述密封组件包括第一连接法兰、第二连接法兰和第一伸缩管，所述第一连接法兰和所述第二连接法兰分别设置于所述第一伸缩管两端，所述第一连接法兰固定连接真空腔体，所述进气管适于密封连接所述第二连接法兰后通过所述第一伸缩管和所述第一连接法兰后到达真空腔体内； 通过调整所述第二连接法兰与所述第一连接法兰的相对位置，能够控制所述进气管和所述喷淋管的上下移动。
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