乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利匀气装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172853U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520874367.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型匀气装置及镀膜设备是由周向阳设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本匀气装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种匀气装置及镀膜设备，其中，匀气装置包括在竖直方向间隔设置的第一板和第二板，第一板上设置多个贯通结构，每个贯通结构均沿第一板的厚度方向贯通第一板，且贯通结构的两端的流通面积不同，贯通结构的大径端朝向喷淋板，贯通结构的小径端朝向第二板。第二板上设置多个孔道，多个孔道相互连通形成不规则网状通道，不规则网状通道在第二板的上表面和下表面均具有开口，上表面与下表面沿第二板的厚度方向相对设置。匀气装置设置于镀膜设备的腔室内且位于喷淋板的下方，能够对喷淋的等离子体进行再次均匀，可提升基板上的膜厚平整度，无需多次更换喷淋板，可提高生产效率。
本实用新型匀气装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种匀气装置，其特征在于，设置于镀膜设备的腔室内且位于喷淋板的下方，所述匀气装置包括在竖直方向间隔设置的第一板和第二板； 所述第一板上设置多个贯通结构，每个所述贯通结构均沿所述第一板的厚度方向贯通所述第一板，且所述贯通结构的两端的流通面积不同，所述贯通结构的大径端朝向所述喷淋板，所述贯通结构的小径端朝向所述第二板； 所述第二板上设置多个孔道，多个所述孔道相互连通形成不规则网状通道，所述不规则网状通道在所述第二板的上表面和下表面均具有开口，所述上表面与所述下表面沿竖直方向相对设置。
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