智杰科技(安徽)有限公司崔日获国家专利权
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龙图腾网获悉智杰科技(安徽)有限公司申请的专利一种CVD背板清洁气体管路结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520885291.0，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种CVD背板清洁气体管路结构是由崔日设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD背板清洁气体管路结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD背板清洁气体管路结构，包括安装在背板本体内部的用于实现清洁气体逐一进入角度调节机构内对腔室内部不同角落进行清洁的出气调节机构，所述背板本体的内侧开设有腔室，所述角度调节机构包括固定管道、伸缩软管和活动硬管，所述活动硬管通过伸缩软管活动连接在固定管道的一端，所述活动硬管的上表面通过连接块转动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端通过转轴转动连接有手柄，所述活动硬管的两侧表面均固定连接有固定块，腔室的内部下表面转动连接有转杆。本实用新型通过设置的角度调节机构，实现了清洁气体喷嘴的灵活摆动和自动复位，显著提高了腔室内部角落的清洁效率和便捷性。
本实用新型一种CVD背板清洁气体管路结构在权利要求书中公布了：1.一种CVD背板清洁气体管路结构，其特征在于，包括安装在背板本体1内部的用于实现清洁气体逐一进入角度调节机构4内对腔室内部不同角落进行清洁的出气调节机构3，所述背板本体1的内侧开设有腔室，所述角度调节机构4包括固定管道41、伸缩软管42和活动硬管43，所述活动硬管43通过伸缩软管42活动连接在固定管道41的一端，所述活动硬管43的上表面通过连接块48转动连接有伸缩杆49，所述伸缩杆49的伸缩端通过转轴410转动连接有手柄411，所述活动硬管43的两侧表面均固定连接有固定块45，腔室的内部下表面转动连接有转杆47，所述转杆47和固定块45之间安装有第二弹簧结构46。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人智杰科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市庐江县台创园合庐产业新城郭河片区昌盛街555号合庐G60科创产业园2号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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