深圳市矩阵多元科技有限公司肖荣锋获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种磁靶距调整结构及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172839U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521102776.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁靶距调整结构及镀膜设备是由肖荣锋;杨洪生;朱新华;张晓军设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁靶距调整结构及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种磁靶距调整结构及镀膜设备，属于半导体生产设备技术领域，包括第一安装部、Z轴驱动组件、第二安装部、Y轴驱动组件、磁控管、X轴驱动组件，在所述Z轴驱动组件与所述第一安装部之间、所述Y轴驱动组件与所述第二安装部之间、所述X轴驱动组件与所述磁控管之间，至少一者进行浮动连接。当溅射面的材料减少，使得磁控管到靶材的溅射面之间的距离改变时，可以利用Z轴驱动组件控制磁控管向上移动，从而调节磁控管到溅射面的距离，使得该距离随着加工时间的延长始终保持一致，进而确保镀膜的一致性。其中在X轴方向、Y轴方向、Z轴方向采用浮动连接，有利于提高移动调节的顺畅性，确保调节机制的正常实现。
本实用新型一种磁靶距调整结构及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种磁靶距调整结构，其特征在于，包括： 第一安装部； Z轴驱动组件，所述Z轴驱动组件连接于所述第一安装部，用于驱动所述第一安装部升降调节； 第二安装部，所述第二安装部能够沿Y轴方向移动调节地连接于所述第一安装部； Y轴驱动组件，所述Y轴驱动组件连接于所述第二安装部，用于驱动所述第二安装部沿Y轴方向移动调节； 磁控管，所述磁控管能够沿X轴方向移动调节地连接于所述第二安装部； X轴驱动组件，所述X轴驱动组件连接于所述磁控管，用于驱动所述磁控管沿X轴方向移动调节； 其中，在所述Z轴驱动组件与所述第一安装部之间、所述Y轴驱动组件与所述第二安装部之间、所述X轴驱动组件与所述磁控管之间，至少一者进行浮动连接。
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